Cold FEG JEM-ARM200F와 함께 CS 보정 TEM을 사용한 고해상도 이미징 및 분광법
JEOLnews 47권 1호, 2012
C. Ricolleau†, J. Nelayah†, T. Oikawa†, ††, Y. Kohno††, N. Braidy†, †††,
G. Wang†, F. Hue† 및 D. Alloyeau†
† Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques,
파리 디드로 대학교/CNRS
†† (주)제올
††† Laboratoire d'Etude des Microstructures, ONERA-CNRS
최근에 University Paris Diderot(프랑스)에 세계에서 유일한 전자현미경 구성이 설치되었습니다. CFEG(Cold Field Emission Gun)가 장착된 JEOL JEM-ARM200F 구면 수차 보정 전자 현미경(TEM)으로 구성됩니다. 본 논문에서는 새롭게 개발된 80 - 200kV 현미경의 성능에 대해 보고한다. 첫째, 방출 및 프로브 전류의 안정성이 이 새로운 콜드-FEG를 훨씬 더 친숙하게 사용한다는 것을 보여줍니다. CFEG에서 방출된 전자의 에너지 확산은 방출 전류의 함수로 측정되었으며 0.26kV에서 마지막으로 200eV, 0.23kV에서 80eV의 에너지 분해능을 보여줍니다. 이 새로운 TEM의 향상된 기계적 및 전기적 안정성과 관련된 대물 렌즈의 냉간 FEG와 CEOS 수차 보정기의 조합은 75kV에서 200pm, 80kV에서 80pm의 포인트 분해능에 도달할 수 있습니다. 200kV에서의 이 보이지 않는 포인트 분해능은 [0001] 영역 축 방향을 따라 탄소 흑연뿐만 아니라 높은 인덱스 영역 축을 따라 원자 배열의 직접 이미지를 관찰함으로써 CoPt 나노입자의 구조를 연구할 수 있게 했습니다. 이 현미경의 고감도는 비정질 탄소 기판에서 확산되는 단일 원자의 화학종을 이미지화하고 분석할 수 있게 해줍니다. 마지막으로 CFEG의 작은 에너지 확산을 사용하여 가까운 전자기 상호 작용에서 바이메탈 나노 입자의 특징적인 표면 플라즈몬 공명 모드를 연구했습니다.
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