JEM-2100: 나노기술의 응용
JEOLnews 45권 1호, 2010
주디스 그린블라트
Bar-Ilan 나노 기술 및 첨단 재료 연구소
이 기사는 나노 재료의 구조적 특성 분석을 위해 JEOL JEM-2100(LaB6) 고해상도 전자 현미경을 사용한 1.17년 간의 경험을 요약한 것입니다. 기기는 ADF 및 BF 검출기로 구성된 스캐닝 장치와 원소 분석을 위한 EDS 시스템과 통합되었습니다. 현미경이 특별한 지하실이 없는 작은 방에 표준 에어컨이 설치되어 있고 공기 온도의 변화를 피하거나 소음 및 진동 방해를 줄이기 위한 특별한 예방 조치가 취해지지 않았음에도 불구하고 현미경은 다음과 같은 기능을 제공했습니다. 10시간 내내 뛰어난 성능을 발휘합니다. HRTEM 모드에서 XNUMX テ의 격자 분해능을 달성하는 것이 가능했습니다. STEM이 제공하는 기기의 분해능은 약 XNUMXnm였습니다. 시스템의 기능은 나노 재료 연구 응용 프로그램의 몇 가지 예에서 시연됩니다.
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