JEM-2800 고처리량 전자현미경 개발
JEOLnews 46권 1,2011호
마츠시타 미츠히데†, 가와이 슈지†, 이와마 다케시†, 다나카 카츠히로†,
쿠바 토시코††와 엔도 노리아키†
† EM 사업부, JEOL Ltd.
†† 전자 광학 영업부, JEOL Ltd.
최근에는 나노미터 오더 구조 제어 기술을 활용한 신소재 개발 및 이를 이용한 제품 개발이 활발히 진행되고 있다. 이러한 소재와 제품을 개발하는 과정에서 형태학적 관찰과 국부적 분석을 위한 주사-투과 및/또는 투과전자현미경((S)TEM)의 사용은 필수불가결하다. 또한 반도체 산업 등 첨단산업에서는 (S)TEM을 생산수율 향상 및 불량원인 분석을 위한 분석도구로 생산라인 인근 현장에 설치하여 사용자가 적극 활용하고 있다. 밤낮 언제든지 (S)TEM의. 그러나 이러한 현장에 (S)TEM을 설치하면 비용 및 사용성 측면에서 문제가 발생하는 경우가 많습니다. 이러한 문제점을 해결하기 위해 JEM-2800 High Throughput Electron Microscope가 새롭게 개발되었습니다. 이 보고서는 이 장비의 제품 개념과 기능을 설명합니다.
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