"작업자 의존형"에서 "작업자 불필요형 측정"으로
ACE eye™는 반도체 전용 투과 전자 현미경(TEM)으로, TEM/STEM 이미징부터 EDS 분석까지 사전 정의된 레시피 기반 워크플로우를 통해 완전 자동화된 엔드투엔드 작업을 제공합니다. 측정 조건을 표준화함으로써 탁월한 재현성을 보장하는 동시에 반자동부터 완전 자동화 워크플로우까지 다양한 유연한 작동 모드를 제공합니다.
AI 기반 자동 수차 보정(ASCOR, 기본 사양) 및 고급 자동화 알고리즘을 탑재한 ACE eye™는 최적의 측정 조건을 지속적으로 유지하여 작업자 개입 없이 매우 정밀한 결과를 제공합니다.
또한, 검증된 하드웨어 기술과 장기적인 안정 작동에 최적화된 설계를 활용하여 ACE eye™는 반도체 분석에 필요한 사용 편의성과 높은 신뢰성을 제공합니다.
기능
자동화
ACE eye™는 측정 조건과 절차를 표준화된 레시피로 변환함으로써 TEM/STEM 이미징부터 EDS 분석에 이르기까지 모든 과정을 단일 워크플로우 내에서 완전 자동화하여 안정적이고 작업자 개입에 독립적인 결과를 보장합니다.
이 시스템은 반자동부터 완전자동 워크플로우에 이르기까지 다양한 자동화 수준을 지원하므로 사용자는 측정 목표 및 운영 요구 사항에 따라 최적의 구성을 선택할 수 있습니다.
ACE eye™는 AI 기반 자동 수차 보정 기능을 제공하는 ASCOR(CEOS 기술)를 기본 사양으로 탑재하고 있습니다. 고급 자동화 알고리즘과 결합하여 측정 조건을 지속적으로 최적화하고 항상 최상의 성능을 유지합니다.
초점 조정, 비점수차 보정, 시료 높이 정렬, 빔 중심 맞추기, 결정 방향 정렬을 포함한 주요 매개변수는 일관되고 신뢰할 수 있는 측정을 보장하기 위해 자동으로 제어됩니다.
대용량 액체 질소 탱크(냉각제 보관 시간 약 5일), 선택 사양인 Automation Center 자동 측정 소프트웨어, 그리고 선택 사양인 MSP(MultiSPECPORTER)의 조합을 통해 무인 장시간 연속 작동이 가능하여 측정 효율을 향상시키고 시스템 활용도를 극대화합니다.
안정
넓은 간격의 폴 피스와 ASCOR(CEOS 사 제품)를 통합한 견고한 시스템 설계는 고해상도 이미징과 고감도 EDS 분석의 안정적인 통합을 보장하여 첨단 반도체 소재 특성 분석을 위한 최적의 관찰 환경을 제공합니다.
TEM과 STEM 모두에서 ±0.5%의 높은 배율 재현성을 달성하여 장시간 또는 완전 자동화된 측정 중에도 안정적인 위치 지정과 신뢰할 수 있는 데이터 수집이 가능합니다.
LogChecker(옵션)를 통해 자기장, 진동, 실내 온도, 냉각수 온도 등 시스템 상태 및 외부 환경 요인을 지속적으로 모니터링하여 측정 환경을 완벽하게 파악하고 일관되고 안정적인 작동을 보장합니다.
컬럼 인클로저는 외부 교란의 영향을 최소화하여 자동 측정 및 고배율 관찰의 재현성과 신뢰성을 더욱 향상시킵니다.
조작성
직관적인 사용자 인터페이스인 "TEM 센터"는 마우스를 사용하여 관찰에서 측정까지 원활하게 실행할 수 있도록 지원하며, 사용자의 경험 수준에 관계없이 매끄러운 워크플로우를 보장합니다.
"자동화 센터"는 운영자 모드와 관리자 모드라는 두 가지 전용 모드를 제공하여 사용자 역할에 따라 효율적인 구성 및 운영 관리를 지원합니다.
Gatan 카메라와의 완벽한 통합을 통해 이미지 획득부터 데이터 저장까지 원활한 워크플로우를 지원하여 생산성이 높은 관측 환경을 구축하는 동시에 높은 신뢰도의 데이터를 제공합니다.
새롭게 개발된 홀더는 시편 그리드를 한 번의 터치로 장착 및 분리할 수 있도록 하여 조작을 간소화하고 일상적인 작업량을 줄이며 준비 시간을 단축합니다.
FIB 연결
옵션 사양인 이중 축 틸트 카트리지와 전용 TEM 홀더를 통해 TEM과 FIB 워크플로우를 원활하게 통합할 수 있습니다.
카트리지는 전용 홀더에 한 번의 동작으로 장착할 수 있어 시료 준비 후 TEM 그리드를 직접 다룰 필요가 없습니다. 이는 작업자의 작업 부담을 줄이는 동시에 시료 손상 및 오염 위험을 최소화합니다.
기술 사양
| TEM 해상도(200kV에서) |
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| STEM 해상도(200kV 기준) |
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| 전자총 | 냉전계 방출 총(CFEG) | ||||||
| 가속 전압 | 60 kV의에 200 kV의 (80, 200kV: 표준, 기타 전압: 선택 사항) |
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| 수차 보정기 | STEM：ASCOR(표준) | ||||||
| 표본의 움직임 | X,Y ±1.0 mm Z ±0.4 mm | ||||||
| 시편 경사각 |
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| 형식 | JEOL 160mm2 SDD(듀얼), 자동화 센터, 멀티스펙터, 단층촬영, EELS |
갤러리 (Gallery)
LAADF-STEM 이미지
시료: 반도체 소자(GAA)
가속 전압: 200kV
HAADF-STEM 이미지(CD 측정)
시료: 반도체 소자(FinFET)
가속 전압: 200kV
EDS 지도(순 계수 지도)
시료: 반도체 소자(FinFET)
가속 전압: 200kV
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