JEM-ACE200F는 오퍼레이터가 전자현미경을 조작하지 않고도 오퍼레이션 워크플로에 대한 레시피를 생성하여 데이터를 얻을 수 있는 시스템에 대응하는 전자현미경입니다.
JEM-ACE200F는 JEM-ARM200F 고급 TEM 및 JEM-F200 다목적 FE-TEM의 하드웨어 기술을 계승했기 때문에 이 새로운 고처리량 분석 전자 현미경은 새롭게 세련된 외관 디자인으로 매우 높은 안정성과 분석 기능을 제공합니다.
기능
기본 장치 플랫폼
Cold-FEG는 표준입니다.
C 교정기 설치가 가능합니다.
고속 및 고감도 스테이지. 기존 모터구동보다 XNUMX배 빠른 속도와 피에조구동 제어와 유사한 미세한 움직임 제어가 가능하다.
손쉬운 조작
- TEM 경험이 없는 작업자도 직관적인 조작이 가능합니다.
- 조작 패널을 사용하는 조작을 최소화하고 화면의 버튼을 순서대로 클릭하면 최종 이미지를 얻을 수 있습니다.
- 초점 조정은 마우스 조작으로 수행할 수 있습니다.
- Gatan 카메라와의 통합이 가능합니다.
- 자동 현미경 튜닝 기능
- 자동 초점, 자동 난시, 자동 시편 높이 조정, 자동 빔 센터링 및 자동 방향 등
자동 데이터 수집 기능
- 자동 데이터 수집을 가능하게 하는 레시피 소프트웨어 "Automation Center"
- TEM 이미지, STEM 이미지, EDS에 의한 원소 매핑.
- 그리드의 여러 표본을 처리할 수 있습니다.
중요한 치수 측정 소프트웨어와 연결
- 배율 보정은 TEM 측에서 설정한 각 배율에 대해 사용할 수 있습니다.
- 하나 이상의 JEM-ACE200F에서 수집한 데이터에 대해 자동 임계 치수 측정이 가능합니다.
원격 조작
- 다음 방 운영
- 둘 이상의 위치에서 원격 작동 및 동시 관찰(네트워크 환경에 따라 다름)
- 여러 사업장과 논의하면서 관찰이 가능합니다.
컬럼 인클로저에 의한 내환경성 향상
소음, 기류, 실내온도의 변화에 따른 영향 억제에 기여합니다.
방음재를 내벽에 부착하여 추가적인 방음 조치가 가능합니다.
분석에서 악기 분석에 수단
- 자동화된 STEM/TEM 분석은 공정 개선에 도움이 되고 안정적으로 품질 관리 개선에 도움이 됩니다 -
제품 사양
| TEM 분해능(200kV에서) | 입자 이미지 ≤0.21nm 격자 이미지 0.1nm 정보 한계 ≤0.11nm |
|---|---|
| STEM 분해능(200kV에서) | DF STEM 이미지 ≤0.136nm ASCOR 구성(옵션) ≤0.1nm BF STEM 이미지 ≤0.136nm ASCOR 구성(옵션) ≤0.1nm |
| 전자총 | 냉전계 방출 총(CFEG) |
| 가속 전압 | 60kV~200kV (80kV, 200kV; 표준, 기타 전압: 옵션) |
| 표본의 움직임 | X,Y ±1.0mm Z ±0.2mm |
| 시편 경사각 | TX/TY(양축 시편 틸팅 홀더) ±20°/±25° TX (전용 시편 하이틸팅 홀더) ±80° |
| 옵션 | 전 100mm2 SDD(Dual), EELS, Cs 교정기, 자동화 센터, 단층 촬영 |
