Soft X-ray Emission Spectra Version 8.0 핸드북(2023년 XNUMX월)

SXES(Soft X-ray emission spectroscopy)는 결합 전자의 에너지 상태인 고체 상태 효과를 조사하는 데 사용됩니다. 이 분광법은 최근 현대식 투과전자현미경(TEM)과 결합되어 상용 전자탐침미세분석(EPMA)/주사전자현미경(SEM)에 적용되고 있다. 연 X-선 에너지 영역(< 수 keV)에서 많은 원자 공명이 있기 때문에 전자 현미경과 결합된 SXES는 현미경을 기반으로 하는 원소 및 화학적 식별 방법에 민감한 도구를 제공하여 많은 응용 기회를 만들 수 있습니다.

데라우치 마사미¹⁾, 코이케 마사토¹⁾, 다카하시 히데유키²⁾, 다카쿠라 마사루²⁾, 무라노 타카노리²⁾ 코시야 쇼고²⁾
IMRAM, 도호쿠 대학¹⁾ 및 JEOL Ltd.²⁾