새로운 초고해상도 분석 전자현미경 JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2) 출시

제품 개발 배경

전자현미경 분야에서는 수많은 현미경학자와 엔지니어들이 해상도 향상을 지속적으로 추구해 왔습니다. 한편, JEOL은 투과전자현미경(TEM)의 안정성 향상을 위해 노력해왔다. 수차 보정 기술과 이러한 노력을 결합하여 탁월한 고해상도를 성공적으로 달성했습니다.

JEM-ARM300F(GRAND ARM™)는 동급 최고의 분해능을 달성하는 데 중점을 둔 원자 분해능 TEM입니다. 그러나 최신 TEM에 대한 요구 사항에는 단단한 재료뿐만 아니라 부드러운 재료의 특성화가 포함됩니다. 이러한 상황에서 TEM 사용자는 더 높은 수준의 정확도로 향상된 분해능과 분석을 요구합니다.
JEOL은 이러한 요청을 충족하는 새로운 TEM인 JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2)를 개발했습니다. 이 초고해상도 분석 TEM에는 많은 기능이 있습니다. 특히, 새로운 대물렌즈 폴 피스 "FHP2"로 GRAND ARM™2는 초고해상도 이미징과 동급 최고의 대형 입체각 EDS 원소 분석의 최적 조합을 달성합니다.
GRAND ARM™2의 표준 구성에는 외부 교란을 완화하는 인클로저가 포함되어 있어 기기의 안정성이 높아집니다.

주요 특징

• 초고해상도와 고감도 X선 분석의 최적 조합.
  새로 개발된 FHP2 대물렌즈 폴피스의 특징은 다음과 같습니다.
  • FHP2는 기존 FHP 대비 1.4배 이상 높은 X선 검출 효율(XNUMXsr)을 제공한다.
  • 낮은 광학 계수, 낮은 Cc 계수 및 낮은 Cs 계수는 가속 전압 범위에서 초고 공간 분해능 및 고감도 X-선 분석을 수행할 수 있도록 합니다.
    (보장된 STEM 분해능: 53kV에서 300pm, 96kV에서 80pm)*
  *이는 STEM ETA(확장 궤적 수차) 교정기가 구성된 경우입니다.
• 대물렌즈의 Wide Gap Pole piece(WGP)는 초고감도 X-ray 분석을 가능하게 합니다.
  상부 폴과 하부 폴 사이의 간격이 넓은 이 폴 피스에는 다음과 같은 장점이 있습니다.
  • WGP를 사용하면 대면적 SDD(실리콘 드리프트 검출기)를 표본에 더 가깝게 가져와 초고감도 X선 분석(총 입체각 2.2sr)을 달성할 수 있습니다.
  • WGP는 더 두꺼운 시편 홀더를 수용하므로 다양한 유형의 현장 실험이 가능합니다.
• JEOL에서 개발한 구면 수차(Cs) 보정기는 현미경 컬럼에 통합되어 초고 공간 분해능을 제공합니다.
  • FHP2와 결합된 GRAND ARM™2는 53kV에서 300pm의 STEM 분해능을 달성합니다.
  • WGP와 결합된 GRAND ARM™2는 59kV에서 300pm의 STEM 분해능을 달성합니다.
  • JEOL COSMO™(Corrector System Module)를 사용하면 수차 보정을 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다.
• 콜드 필드 방출 건(Cold-FEG)이 표준으로 제공됩니다.
  GRAND ARM™2에는 전자 소스에서 더 작은 에너지 확산을 제공하는 Cold-FEG가 장착되어 있습니다.
• 외부 교란을 완화하는 인클로저
  이 새로운 인클로저는 공기 흐름, 실내 온도 변화 및 음향 소음과 같은 외부 방해를 줄이기 위한 표준입니다.

주요 사양

연간 단위 판매 목표

10 단위/년

(링크)

• 제품
  JEM-ARM300F2 GRAND ARM™2 원자 분해능 분석 현미경