- 16kW 출력
최대 출력은 16kW(1.6kV에서 10A)입니다. 더 높은 속도의 금속 증착이 가능합니다. - 대용량 도가니
표준 도가니 포켓 크기는 직경 50mm입니다.
옵션 폴피스 BS-70PP80과 함께 직경 60830~250mm의 도가니를 사용할 수 있습니다.
*빔 가동/소거 범위는 직경 50mm입니다. - 고속 스위핑
기존의 금속 증착용 전자빔 소스에 비해 빔 스위핑 성능이 향상되었습니다.
승화 물질과 같은 산화물은 500Hz 이상에서 고속 스위핑에 의해 증착될 수 있습니다. - 쉬운 유지 보수
상단은 평평한 구조(증착이 적음)이며 상단 덮개는 쉽게 제거할 수 있습니다.
고압선의 동선을 제거하지 않고 필라멘트를 교체할 수 있습니다. - 후방 산란 전자 트랩
선택적 후방 산란 전자 트랩을 부착할 수 있습니다.
기판 온도 상승 감소에 매우 효율적이므로 리프트 오프 공정에 적합합니다.
특징
각종 금속재료의 증착율 예
고융합 전자빔으로 고속증착 가능
대용량 도가니를 사용한 알루미늄 증착율의 예
더 큰 용량의 도가니와 결합하여 증착 속도를 더 높일 수 있습니다.
제품 사양
주요 사양
| 최대 출력 | 16kW(10kV, 1.6A) |
|---|---|
| 가속 전압 | 6 ~ 10kV |
| 전자빔 편향각 | 270 학위 |
| 빔 이동 / 스위핑 범위 | 직경 50mm |
| X축 스위핑 주파수 | 135Hz(표준 설정) |
| Y축 스캐닝 주파수 | 570Hz(표준 설정) |
| 운영 압력 | 7 × 10-2Pa 이하 |
| 냉각수 | 5~8L/min, 10~25°C |
| 필라멘트 | 선형 코일 유형, 직경 0.8mm |
| 질량 : | 약. 14kg |
선택권
BS-60830PP250 폴피스(롱타입)
후방 산란 전자 트랩
외부 치수
