특징
JEOL SEM 100년의 기술력이 집약된 JSM-IT50은 컴팩트한 다목적 주사전자현미경입니다.
사용 용이성은 연구 등급 SEM에서 기대되는 다용성과 확장성을 유지하면서 성공적인 InTouchScope™ 시리즈의 핵심 기능입니다. 이 올인원 SEM은 재료 개발, 테스트, 평가 및 결함 분석에서 품질 관리에 이르기까지 다양한 응용 분야를 포함하여 생명 공학 및 나노 기술과 같은 광범위한 분야에서 사용됩니다.
EDS가 내장된 모델을 통해 사용하기 쉬운 소프트웨어 시스템을 통해 관찰, 원소 분석 및 보고서 생성을 원활하게 통합할 수 있습니다.
InTouchScope™ 시리즈는 2010년 출시 이후 전 세계 고객의 선택을 받아 왔으며 이전에 총 출하 대수가 1,000대를 넘어섰습니다.
뛰어난 조작성
터치 패널로 편안하고 직관적인 조작이 가능합니다.
조작 패널*과 마우스를 사용한 조작도 가능하므로 사용자의 목적에 따라 조작 선택을 확장할 수 있습니다.
사용하기 쉬운 소프트웨어 인터페이스를 통해 경험이 없는 사용자도 높은 효율성으로 모든 작업을 수행할 수 있습니다.
JSM-IT100은 하나의 창에서 관찰과 요소 분석을 완전히 통합하는 GUI를 통합하고 원 클릭 설정으로 SEM/EDS 전환이 가능합니다. 이 사용하기 쉬운 소프트웨어 인터페이스를 통해 경험이 없는 사용자도 높은 효율성으로 모든 작업을 수행할 수 있습니다.
검체 교환 내비게이션에 표시된 대로 버튼을 눌러 원활하게 검체 교환을 수행합니다.
모터 구동 스테이지*와 스테이지 내비게이션 시스템*을 설치하면 광학현미경을 조작하는 듯한 느낌으로 관심 영역을 찾을 수 있습니다.
EDS 가이드를 설치하면 우유부단하지 않고 분석을 수행할 수 있습니다.
새로운 올인원 SEM은 고급 장비와 동일한 옵션을 장착할 수 있습니다.
저진공 모드 외에도 전처리 없이 비전도성 재료도 이미징 및 분석할 수 있습니다.
저진공 관찰 및 요소 분석 외에도 JSM-IT100은 5축 모터 드라이브 스테이지를 수용합니다.* 가속 전압을 최대 30kV까지 확장하는 옵션도 사용할 수 있습니다*
이제 확장된 EDS 기능이 다음과 같이 포함됩니다. 영역 분석 및 라인 스캔
JSM-IT100에는 JEOL에서 만든 EDS가 장착되어 있으며 하나의 창에서 SEM/EDS 전환이 가능한 완전히 통합된 GUI를 구현합니다.
수상 경력에 빛나는 InTouchScope™ 시리즈의 EDS 기능은 부분 영역 분석, 라인 스캔 분석 및 매핑 필터 기능을 추가하여 더욱 강화되었습니다.
공간 절약 및 쉬운 설치
JSM-IT100은 이전 제품보다 설치 공간이 30% 작아 벤치탑 주사 전자 현미경과 거의 동일한 공간만 필요합니다.
설치에는 100V 전원 콘센트면 충분하고 냉각수가 필요하지 않아 설치 현장의 유연성이 크게 향상됩니다.
선택권
제품 사양
| 분해능 | HV 모드: 3nm(30kV *1) 4nm(20kV), 8nm(3kV) 15nm(1kV)
LV 모드*2: 4nm(30kV *1) 5nm(20kV) |
|---|---|
| 확대 | x5 ~ x300,000(128mm ~ 96mm 이미지 크기 기준) |
| 저진공 압력 설정 범위 *2 | 10~100Pa |
| 가속 전압 | 0.5 kV의에 30 kV의 *1 (53 단계)
0.5kV ~ 20kV(43단계) |
| 필라멘트 | 공장 사전 중심 텅스텐 머리핀 필라멘트 |
| 전자총 | 완전 자동 / 수동 조정 가능 |
| 콘덴서 렌즈 | 고정밀 줌 콘덴서 렌즈 |
| 대물 렌즈 | 원추형 렌즈 |
| 대물 렌즈 조리개 | 1단계, X 및 Y를 따라 미세 조정 |
| 난시 기억 | 유효한 |
| 표본 단계 | Eucentric 무대
X : 80mm Y : 40mm Z: 5mm ~ 48mm 기울기: -10° ~ + 90°, 회전: 360° |
| 최대 표본 크기 | 150mm 직경 |
| 이미지 파일 | BMP, TIFF, JPEG |
| EDS 기능*3 | 스펙트럼 분석, 정성/정량 분석, 수평선 분석, 다점 분석, 요소 맵 분석, 프로브 추적 |
| 표준 레시피 | 유효한 |
| 맞춤형 레시피 | EOS 시스템, 스테이지 좌표, 진공 모드 등 |
| 자동 기능 | 자동 필라멘트 및 정렬, ACB, AF, AS, 활성 톤 |
| 대피 시스템 | 전자동, TMP : 1 RP : 1 |
주요 옵션
가속 전압 확장 키트( AEK )
저진공 XNUMX차 전자 검출기
스테이지 내비게이션 시스템*4
챔버 범위
조작반
이동식 조리개(3단계)
모터 구동단(XY、XYZ、XYR、5축)
실리콘 드리프트 감지기(10mm, 30mm, 60mm, 100mm)
3차원 이미지 소프트웨어(XNUMXD Sight)
테이블 (W: 800mm D: 800mm)
가속 전압 확장 키트가 필요합니다.
저진공 키트가 필요합니다.
JSM-IT100용 Stabdard(A)/(LA)
모터 구동 단계가 필요합니다.
갤러리 (Gallery)
