JSM-IT210
주사 전자 현미경

모든 시편 유형에 대한 데이터 획득 용이

JSM-210은 JEOL의 가장 컴팩트한 고정형 주사 전자 현미경입니다.
새롭게 개발된 스테이지는 XNUMX축 이동 모두 모터로 구동되어 보다 안전하고 빠르게 사용할 수 있습니다.
또한 새롭게 탑재된 "Simple SEM"은 단순히 시야를 선택하는 것만으로 관찰 및 분석을 자동으로 획득합니다. JSM-IT210은 컴팩트하고 무인 작동이 가능한 차세대 SEM입니다.

특징

검체교환부터 자동관찰까지 안내 "검체교환 나비"

1. Navi를 따라 시편을 설정합니다.

2. 대피 시 관찰을 위한 준비

3. 자동으로 관찰 시작

*1 스테이지 내비게이션(SNS)은 옵션입니다.
*2 SNSLS는 옵션입니다. SNS와 동시 사용이 가능합니다.
*3 챔버 스코프(CS)는 옵션입니다.

광학 이미지 확대, SEM 이미지 "Zeromag"로 전환

Zeromag 기능은 탐색을 단순화하여 광학*에서 SEM 이미지로의 원활한 전환을 제공합니다.
SEM, 광학 이미지 및 홀더 그래픽이 모두 연결되어 분석 위치를 전체적으로 볼 수 있습니다.

* 광학 이미지 캡처에는 스테이지 내비게이션 시스템(SNS, 옵션)이 필요합니다.

관찰 중 실시간 원소 구성을 위한 임베디드 EDS* "라이브 분석"

라이브 분석은 영상 관찰 중 EDS 스펙트럼이나 원소 맵을 실시간으로 보여주는 기능입니다. 이 기능은 검색을 지원하고 대상 요소에 대한 경고를 제공할 수 있습니다.

*A(분석) 또는 LA(저진공 및 분석) 모델이 필요합니다.

생산성 향상을 위한 자동화 "Simple SEM"

Simple SEM은 여러 위치, 조건 및 배율에서 이미지 수집을 자동화합니다.

속도를 위한 도구

위치 정확도가 높은 스테이지. 분석 위치를 정확하게 재배치합니다.

표준 60mm² 대구경 EDS*
빠른 분석*

빠른 분석

60 mm²  JSM-IT210에 표준으로 장착된 센서 크기 EDS는 더 작은 영역 감지기보다 훨씬 짧은 시간에 동일한 품질을 얻을 수 있습니다. 다점 분석도 보다 효율적으로 수행할 수 있습니다.

열에 민감한 시편에 적용

소면적 EDS 검출기는 분석을 위해 큰 전류가 필요합니다. 열에 민감한 표본은 원소 맵에 부정적인 영향을 미치는 빔 조사로 인해 손상됩니다.

60 mm² EDS는 프로브 전류가 낮은 요소 맵을 수집합니다.
 이를 통해 열에 의한 손상을 최소화하면서 빠른 분석이 가능합니다.

빠르고 명확한 요소 맵

60 mm² EDS는 XNUMX분 측정으로도 명확한 원소 지도를 수집합니다.

표본: 팔라사이트 운석
가속 전압: 15kV
측정 시간: 1분

* 이 EDS는 LV(저진공) 및 LA(저진공 및 분석) 모델과 호환됩니다.

제품 사양

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JSM-IT210 주사 전자 현미경

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