명확한 가시성은 새로운 발견을 촉진합니다.
요즘에는 나노미터 오더의 분해능과 분석 성능뿐만 아니라 데이터 수집 처리량도 중요하게 고려됩니다. 새롭게 탄생한 JSM-IT710HR은 JEOL의 HR* 시리즈 XNUMX세대 모델로 '누구나 쉽게 고해상도 이미지를 찍을 수 있는 SEM'을 테마로 하고 있다.
JSM-IT710HR은 향상된 자동 기능과 새로운 감지기의 향상된 관찰 성능으로 인해 사용자가 본 것 이상을 추구하고 싶게 만듭니다.
*HR=고해상도
특징
제품 비디오
나는 그것을 볼 수 있습니다 더 보고 싶어
1. SEM 이미지는 광학 이미지와 결합하여 볼 수 있습니다.
표본: Hino Tonton ZOO(하무라 동물원) 제공
2. 고해상도 전자총으로 인해 영상이 더 잘 보입니다.
나는 그것을 볼 수 있습니다 더 보고 싶어
충전 감소
저진공
3D 관찰
다중 세그먼트 검출기
원소 정보
EDS※
결정 구조 분석
EBSD※
※선택 과목
충전 감소
표본: Tetsuro Asakura 교수 제공, 도쿄 농업 기술 대학 생명 공학 및 생명 과학과
결정 구조 분석
표본: National Institute for Material Science (NIMS) Kaneaki Tsuzaki 교수 제공
새로운 기능
자동 관찰: 단순 SEM/EDS
간단한 SEM 기능으로 여러 조건을 한 번에 등록하여 자동 측정이 가능합니다. 단순한
이것은 일상적인 작업의 효율성을 향상시킵니다.
Live 3D: 현장에서 3D 이미지 구축
아웃렌즈 대물렌즈로 인해 왜곡이 적은 저배율에서도 촬영이 가능합니다.
Quadrant 검출기를 사용하여 획득한 이미지
시편 : 플라스틱의 파단면
라이브 3D 이미지
새로운 저진공 하이브리드 XNUMX차 전자 검출기(LHSE) ※옵션 기능
새로운 저진공 검출기인 LHSED는 발광 정보가 포함된 이미지와 지형 이미지를 전환하면서 관찰할 수 있습니다.
LHSED 기능
- 저진공 XNUMX차 전자 라이브 이미지 품질 향상
- 발광 정보 취득
- 지형 및 발광 정보 이미지 간 전환
쇼트키 FE 전자총 안정성이 기존 대비 4배 이상 향상되었습니다.
자동 빔 조정
JSM-IT710HR은 복잡한 수동 조정이 필요하지 않으며 축 정렬에서 난시 보정 및 포커싱까지 자동 조정을 제공합니다.
XNUMX차 전자 검출 시스템
XNUMX차 전자 검출기
(세드)
표본: 공작의 깃털*
*표본 이미지: Hinotonton Zoo(하무라 동물원) 제공
저진공 XNUMX차 전자 검출기
(LVSED/LHSED)
표본: 셀룰로오스 극세사
고해상도 및 대전류 모두
JSM-IT710HR에 사용되는 쇼트키 전계방출총은 전자총이 집광렌즈와 일체화되어 작은 프로브를 유지하면서 큰 전류를 발생시키기 때문에 고해상도 관찰 및 분석이 가능하다.
후방 산란 전자 검출 시스템
새로운 다중 세그먼트 후방 산란 전자 검출기는 한 번에 네 방향에서 후방 산란 전자 이미지를 획득하여 간단한 3D 이미지를 생성하고 실시간으로 표시할 수 있습니다.
모든 분석은 Zeromag에서 시작됩니다.
Zeromag의 광학 이미지는 탐색을 단순화합니다.
SEM 이미지는 쉬운 관찰, 분석 및 자동 측정을 위해 광학 이미지에 연결할 수 있습니다.
EDS 통합
JEOL은 SEM뿐만 아니라 EDS도 제조 판매하고 있습니다.
간소화된 작업 흐름, 운영 및 데이터 관리를 위해 SEM이 포함된 완전 내장형 EDS.
위상 분석
JEOL의 EDS 시스템은 새로운 위상 분석 기능을 지원합니다. 지도 데이터 세트에서 위상 지도를 만들 수 있습니다.
후방 산란 전자 이미지
위상 매핑(다중 위상 오버레이)
시편: 정밀가공용 절삭공구 단면
상 분석은 Co, Cu 및 Sn이 풍부한 영역 간의 성분 차이를 나타냅니다.
Co 면적: 68.15%
CuSn(CuRich) 면적: 16.25%
CuSn(SnRich) 면적: 14.54%
제품 사양
당사 제품 카탈로그를 참조하십시오.
카탈로그 다운로드
어플리케이션
전자 장치
JSM-IT710HR 적용 가능 기능: 고해상도, 고대비, 광역 관찰
LED
전자 장치의 접합 인터페이스에서 나노공극의 명확한 관찰
표본: CP*를 사용하여 준비된 LED 단면
배율: ×250(위), ×1,000(왼쪽 아래), ×40,000(오른쪽 아래)
가속 전압: 5kV
*CP: 단면 광택제™
배선 패턴
저진공 기능으로 배선 패턴 표면의 넓은 영역 관찰
시료: 배선 패턴면, 배율: ×200(왼쪽), ×300(오른쪽), 진공 압력: 70Pa, 가속 전압: 15kV
SRAM
고해상도 EDS 맵
표본: CP를 사용하여 준비된 SRAM 단면
배율: ×10,000(위), ×50,000(아래)
가속 전압: 5kV(SEM), 7kV(EDS)
후방 산란 전자 이미지
EDS 지도
알 본딩 패드
저진공 XNUMX차 전자 이미지와 후방 산란 전자 이미지를 동시에 획득함으로써 넓은 시료 표면적의 지형 정보 및 구성 정보를 획득할 수 있습니다.
저진공 XNUMX차 전자 이미지
저진공 후방 산란 전자 이미지
시편: 본딩 패드 표면, 배율: ×100, 진공 압력: 70 Pa, 가속 전압: 15 kV
강철
JSM-IT710HR 적용가능 기능 : EBSD 분석에 적합한 광학계(Schottky field emission gun 및 out-lens objective lens)
에너지와 세라믹
JSM-IT710HR 적용 가능 기능: 분석 기능 및 저진공 기능
페로브스카이트 태양전지 기판
태양 전지 기판의 나노 스케일 층에 대한 고정밀 분석
세라믹 기판(Si3N4)
저진공 기능으로 비전도성 시료의 원소 분석이 가능합니다.
저진공 후방 산란 전자 이미지
저진공 원소 맵
가속 전압: 5kV, 저진공 원소 매핑(30Pa), Si의 기계 밀링 표면3N4 기질*
*표면 마무리: 기계 밀링 후 평면 아르곤 이온 밀링
연질재료 및 생명과학
JSM-IT710HR 적용 가능 기능: 저가속 전압, 저진공 기능, 초저배율 관찰
ABS 수지
수만 배의 배율로 관찰한 여러 개의 이미지도 높은 정확도와 안정적인 밝기로 획득할 수 있습니다.
젤라틴
고휘도, 고해상도 XNUMX차전자영상
인공 혈관
저배율에서 고배율까지 슬라이드 글라스에서 생체시료 관찰
