3µm&phi에서 3mmφ까지 넓은 분석 범위를 가진 범용 고감도 광전자 분광계입니다.
특징
마이크로 이온 건
JEOL 고유의 전자 광학 기술이 적용된 고정밀 이온 식각 건입니다.
좁은 에칭 영역은 동일한 시편의 반복 측정을 가능하게 합니다.
하이브리드 입력 렌즈 시스템
이제 X-ray를 집속하는 대신 감지 영역을 원하는 대로 변경하여 미세 영역에서 표본 손상이 없는 높은 영역까지 범용 분석이 가능합니다.
표면 분석을 위한 데이터 분석 소프트웨어
당사의 기존 파형 분리 방법 외에도 실제 스펙트럼을 사용하고 XPS 및 AES의 표준 스펙트럼 라이브러리를 활용하는 새로운 파형 분리 알고리즘이 통합되었습니다. 이를 통해 작업자는 경험과 전문 지식이 필요한 복잡한 매개변수 설정에서 해방되어 초보자도 복잡한 화학 결합 상태 분석을 수행할 수 있습니다.
제품 사양
| 스펙트럼의 분해능 및 강도 | ||
|---|---|---|
| Ag3d5/2광전자 피크(300W MgKa 여기와 동일) 전체 강도의 16%와 84% 지점 사이의 거리, 슬릿에 수직으로 스캔한 시편의 라인 프로파일링으로 얻은 값을 분석 직경(공간 분해능)으로 합니다. |
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| 분석 직경 | 0.9eV | 1.15eV |
| 매크로 | 900,000cps 이상 | 1,800,000cps 이상 |
| 1mm 직경 | 480,000cps 이상 | 900,000cps 이상 |
| 0.2mm 직경 | 50,000cps 이상 | 100,000cps 이상 |
| 0.03mm 직경 | 1,500cps 이상 | 3,000cps 이상 |
| Al/Mg 트윈 애노드 최대 전력 Mg 500W, Al 600W 단색 X선 소스를 사용하는 경우 Ag3d5/2광전자 피크(600W AlKa 여기와 동일) |
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| 강도(cps) | 100,000cps 이상 | |
| 분해능(eV) | 0.65eV | |
| 입력 렌즈 시스템 | 시야각 및 수용각 조리개가 있는 결합된 전자기 및 정전기 렌즈 | |
| 탐지기 | 다채널 검출기 | |
| 에너지 스윕 범위 | 0~1480 eV | |
| 통과 에너지(CAE) | 5~200eV | |
| CRR | ΔE/E 0.15~0.5% | |
| 표준 홀더 | 최대 10mm x 10mm x 2mm(두께)최대 XNUMX개의 시편을 동시에 로드할 수 있습니다. | |
| 대형 홀더 | 직경 90mm 최대 1.5mm(두께) | |
| 표본의 움직임 | X: 0 내지 50mm; Y: 0 ~ 18mm, Z: –2 ~ 2mm; T: -10 ~ 10° | |
| 분석 챔버의 최종 압력 | 7 × 10-8 Pa | |
