진동 대책
진동 격리
점점 더 민감해지는 고성능 과학 기기의 경우 기기 성능을 보장하기 위해 설치 현장의 바닥 진동을 효과적으로 감쇠시키는 것이 매우 중요해졌습니다.
JEOL은 바닥 진동으로 인한 성능 저하를 방지하도록 특별히 설계된 능동 격리 시스템의 광범위한 라인업을 제공합니다.
능동격리시스템의 원리
진동은 기기 위에 장착된 센서에 의해 감지되어 액추에이터가 진동을 취소하기 위해 반대 방향으로 힘을 출력하도록 트리거합니다. 이를 통해 패시브 아이솔레이터로는 피할 수 없는 공진으로 인한 진동 증폭을 감쇠할 수 있습니다. 각 설치 현장의 고유한 진동 조건에 맞게 최적의 튜닝을 수행함으로써 장비 성능에 부정적인 영향을 미치지 않도록 Active Isolation 시스템의 전체 성능을 달성할 수 있습니다.
Active Isolation System Schematic Vibration 전달률 가로축: 주파수, 세로축: 진폭
액티브 격리 시스템
JSM-6510으로 관찰
샘플: ZnO Mg: x 50,000
활성 꺼짐
바닥 진동으로 인해 관측 대상의 윤곽에 노이즈가 발생하고 이미지가 선명하지 않습니다.
활성 ON
Active Isolation System의 진동 감쇠 효과는 바닥 진동으로 인한 영향을 억제하여 선명하고 깨끗한 이미지를 제공합니다.
제품 라인업
내장형 능동격리시스템
이는 장비의 표준 진동 방지 마운트 대신 설치되는 능동 격리 시스템입니다. 장비의 외관이나 유용성을 손상시키지 않으면서 진동으로 인한 영향을 보다 효과적으로 제거합니다.
JEM-ARM300F(TCN300XNL)용
텅스텐 SEM용(J-EST-L100C-5529)
플랫폼 유형 능동적 격리 시스템
텅스텐 SEM용(EST-L5HR-6037)
기기 아래에 놓도록 설계된 플랫폼 유형의 능동 격리 시스템입니다. 다양한 모델, 특히 SEM 기기에 적용할 수 있습니다.
구덩이 유형 격리 플랫폼
초고압 TEM용
초고전압 전자현미경과 같이 무게 중심이 높은 기기의 경우 저주파 바닥 진동이 이 시스템에 의해 효과적으로 제거됩니다. Active Isolation 시스템과 결합하여 더 높은 진동 차단 성능을 달성할 수 있습니다.