금속 재료 용융에 사용되는 고출력 전자빔 소스 : 다결정 실리콘 정제용 진공 용해로

JEBG-3000UB는 300kW 출력의 고출력 전자빔원으로 금속재료의 진공용해/정련에 사용된다. 그 예로 태양 전지용 다결정 실리콘 제조 공정에서 용융 정제 공정인 야금법이 도입되었습니다.