고출력 내장 플라즈마 건의 응용: 플라즈마 보조 증착에 의한 광학 박막 생산의 예.

빌트인 플라즈마 소스는 진공 챔버에 설치되어 고밀도 플라즈마를 생성합니다. 전자빔 증착에 대한 플라즈마 지원은 광학 박막에 매우 효과적입니다. 여기에서는 내장 플라즈마 소스의 개요와 일반 진공 증착 필름과 비교한 산화막의 필름 특성을 소개합니다.