전자 현미경에 기반한 원자가 전자 분광법을 위한 새로운 WDS 분광계
JEOLnews 47권 1호, 2012
데라우치 마사미†, 다카하시 히데유키††, 한다 노부오††,
무라노 타카노리††, 코이케 마사토†††, 카와치 테츠야†††, 다카시
이마조노†††, 코에다 마사루††††, 나가노 테츠야††††, 히로유키
Sasai††††, Yuki Oue††††, Zeno Yonezawa†††† 및 Satoshi Kuramoto††††
† IMRAM, 도호쿠 대학
†† EO 주변 부품 사업부, JEOL Ltd.
††† 일본원자력청 양자빔과학국
†††† 장치 부서, SHIMADZU Corp.
투과 전자 현미경을 위한 새로운 WDS 분광계가 구축되었습니다. 이 분광계는 플랫 필드 광학용 수차 보정 격자 50개를 사용하여 3800eV ~ 50eV의 에너지 영역을 커버할 수 있습니다. 50-200 eV용으로 새롭게 설계 제작된 JS49.5XL 격자를 사용하여 Mg, Li, Al, Be의 단순 금속에 대한 연X선 방출 스펙트럼을 측정하였다. 이러한 강도 프로파일은 원자가 전자(결합 전자) 상태의 부분 밀도에 해당하며 명확한 페르미 에지(점유 상태의 상단)도 나타냅니다. Mg-L 방출의 Fermi edge(0.16 eV)에서 에너지 분해능은 2 eV로 평가되었다. Si 및 TiSi6의 Si-L 방출 스펙트럼은 이러한 강도 분포의 차이를 보여주며, 이는 해당 물질에 대한 서로 다른 원자가 전자 상태를 나타냅니다. JS6N의 또 다른 격자를 사용하여 얻은 CaB200와 LaB6의 BK 방출 스펙트럼을 비교한 것이 표시됩니다. 187eV의 에너지 분해능으로 약 0.4eV에서 LaBXNUMX에 대해서도 명확한 페르미 에지가 관찰되었습니다.
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