Angle Resolved Auger-XPS에서 표면 나노구조 분석 ARXPS를 이용한 고감도 표면 분석

ARXPS(Angle Resolution X-ray Photoelectron Spectroscopy)는 분석기를 기준으로 시료 기울기 각도를 변경하여 시료의 검출 깊이를 제어하는 ​​기술입니다. 이온 스퍼터링을 사용한 깊이 프로파일링과 달리 ARXPS는 광전자의 탈출 깊이까지 깊은 영역을 비파괴 분석할 수 있습니다. ARXPS에서 수집한 데이터는 다음을 결정합니다.