강철의 전위 이미징에 주사 전자 현미경 적용

슈퍼하이브리드 렌즈를 장착한 주사전자현미경을 이용한 전위 이미징을 통해 기존 강철에서 전단변형에 의해 도입된 전위 셀 벽과 셀 내부의 단일 전위를 조사합니다. 전자 채널링 콘트라스트 이미징 방법에 의한 전위의 분해능은 기존의 TEM 관찰에서 얻은 것과 유사하며 변형 미세 구조의 이질성을 감지할 수 있는 전위 연구에 대한 새로운 접근법이 SEM-BSE 기술의 장점. ECCI를 수행하기 위한 두 가지 이미징 구성이 있습니다. 하나는 전방 산란 기하학이고 다른 하나는 후방 산란 기하학입니다. 본 연구에서는 후자의 경우를 활용하였으며, 이는 샘플의 크기와 형태에 대한 제약이 적고 SEM의 무대 설계에 여러 응용이 가능한 장점이 있다. 콘트라스트 메커니즘에 대한 몇 가지 논의가 있기 때문에 후방 산란 전자 검출기의 개선은 기존 TEM 기술의 조합으로 전위 연구에 현미경을 적용하기 위한 몇 가지 아이디어를 제공할 것입니다.