Aberration Corrected STEM에서 EELS 및 XEDS에 의한 원자 분해능 원소 매핑

수차 보정의 최근 개선은 고해상도 이미징뿐만 아니라 주사 투과 전자 현미경(STEM)에서 전자 에너지 손실 분광법(EELS) 및 X-선 에너지 분산 분광법(XEDS)에 의한 고해상도 분석에서도 엄청난 이점을 가져왔습니다. 입사 탐침 형성이 최적화되면 미세한 탐침 크기를 유지하면서 적절한 화학 분석을 위한 충분한 신호를 획득하여 원자 분해능 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 스펙트럼 이미징(SI) 및 다변량 통계 분석(MSA)과 같은 보다 정교한 데이터 수집 및 분석 접근 방식은 원자 분해능 화학 분석에 필수적입니다. 실제로 수차 보정 장비와 고급 획득 및 분석 기술의 결합으로 공간 분해능과 분석 감도가 크게 향상되어 재료의 원자 분해능 화학 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 원고에서는 수차 보정 기기에서 EELS 및 XEDS에 의한 원자 분해능 화학 분석을 위해 사건 프로브 형성, 데이터 수집 및 데이터 분석을 검토합니다. 그런 다음 최근에 개발된 JEM-ARM200F 수차 보정 현미경으로 얻은 원자 분해능 화학 이미지의 여러 응용 프로그램을 통해 재료의 화학 분석에 대한 미래 동향을 설명합니다.