R50에 의한 Sub-005pm 분해능의 리튬 원자 현미경

재료 과학 및 나노 기술의 현대적 문제를 해결하기 위해 수차 보정 전자 현미경은 보정 기술 없이는 실현할 수 없는 풍부한 결과를 얻었습니다. 따라서, 수차 보정(AC) 전자 현미경은 재료 및 물질 연구를 위한 투과 전자 현미경(TEM) 및 주사 투과 전자 현미경(STEM)에서 분명히 "기존의 기기"가 되고 있습니다. Feynman과 많은 과학자들이 꿈꿔온 것처럼 개별 원자의 이미징은 이제 현실이지만 가벼운 요소의 개별 원자를 시각화하는 것은 아직 해결되지 않았으며 매트릭스에서 개별 원자의 위치(0.61차원 이미징)는 아직 이미지화되지 않았습니다. 수차 보정된 STEM은 회절 한계 50 / 처럼 날카로운 전자 프로브를 실현할 수 있습니다. 여기서 는 전자의 파장이고 프로브의 수렴 반각이며 최대값은 기하학적 수차에 의해 결정되었습니다. 분자 내 개별 원자의 산란 강도는 원자 번호에 따라 달라지기 때문에(가벼운 원소는 무거운 원소보다 산란 강도가 낮음) 수차 보정을 통해 가능해진 날카로운 탐침은 원자의 이미징을 향상시킵니다. 수차 보정기의 추가 기술 개발은 전자 현미경 및 기타 실험 기술로는 파악하기 어려운 물질의 개별 리튬 원자까지 감지할 수 있습니다. 여기서 우리는 300pm 이하의 해상도를 달성하는 새로운 수차 보정 현미경*의 개발을 보고합니다. CFEG(cold field emission gun)가 있는 현미경은 46keV에서 작동하고 30mrad 반각을 가진 005pm 전자 탐침을 형성할 수 있습니다. RXNUMX(Resolution double oh five)라고 명명된 이 새로운 전자현미경은 AC에서 리튬, 탄소, 질소, 산소, 규소, 비소, 구리, 게르마늄, 규소, 갈륨, 텅스텐, 금 등 다양한 원자를 검출할 수 있게 해주었습니다. - 줄기 이미징.