전자 마이크로프로브에서 초분광 Mappig-결합 음극선 발광 및 X선 수집

개요 광학 분광기가 JEOL 8900R 전자 마이크로프로브에 통합되어 빛, X선 및 전자 신호를 동시에 수집할 수 있습니다. cathodoluminescence 신호는 전자 마이크로 프로브의 전자 광학에 통합된 단안 접안 렌즈에서 수집됩니다. 광학 획득은 스테이지 모션과 동기화됩니다. 에너지 분산 분광기를 사용하여 주요 원소의 X-선 선을 수집하고, 파장 분산 분광기를 사용하여 미량 원소의 X 선 선을 수집하고 표준 검출기를 사용하여 1차 및 후방 산란 전자 신호를 수집합니다. 매핑 작동 모드에서는 일반적으로 10만 ~ 67만 픽셀 범위의 맵 크기로 각 픽셀에서 서로 다른 신호가 수집됩니다. 이는 맵의 주요 상관 관계 및 연관성을 결정할 수 있는 상당한 양의 데이터를 나타냅니다. 적은 수의 채널을 합산하고 전체 파장 범위의 하위 집합만 검사하는 것이 처리되는 데이터의 크기를 줄이기 위해 개발된 전략입니다. 이 매핑 기술의 적용은 지르콘과 내화 벽돌의 두 가지 예에서 시연됩니다. 다양한 정도의 메타믹화(metamictization)를 가진 지르콘이 특성화되었으며 음극 발광 및 X-선 지도의 조합을 사용하여 내포물을 구별했습니다. 내화 벽돌을 조사한 결과 스피넬 알갱이의 미묘한 화학적 변화가 드러났습니다. 현미경 해상도 기술 271; 277,2005-XNUMX