신개발 원자 분해능 분석 전자현미경 "GRAND ARM™2"로 세계 최고 수준의 분해능 실현
EM2020-09E
새로운 원자분해능 분석전자현미경(GRAND ARM™2)의 두드러진 특징은 현미경 컬럼 인클로저, 경량 전자총, 안정성이 향상된 렌즈 전류 공급 장치 등의 개발로 구현된 "안정성"입니다. 최고의 안정성은 최고의 해상도를 제공합니다. 또 다른 중요한 특징은 새로운 형태에 최적화된 대물 렌즈 "FHP2"에 의해 실현된 "원자 분해능 동안 높은 분석 감도"입니다. 이 새로운 렌즈와 JEOL이 개발한 ETA 수차 컬렉터의 조합은 이전 기계보다 STEM Ronchigram에서 더 넓은 평면 위상 영역을 제공합니다. 따라서 새로운 원자 분해능 분석 전자 현미경은 향상된 안정성과 높은 분석 감도로 최고 수준의 분해능을 수행합니다.
40.5pm의 STEM-ADF 해상도 달성
그림 1(a)와 (c)는 [212] 방향을 따라 투영된 GaN 결정의 STEM-HAADF 이미지를 보여줍니다. (a)는 단일 프레임 스캔으로 획득했고 (c)는 20프레임 통합으로 획득했습니다. (b)와 (d)는 해당 STEM-HAADF 이미지의 FFT 패턴입니다. 단일 프레임으로 획득한 그림 1(a)에서는 40.5 pm의 Ga-Ga 원자간 거리를 나타내는 아령이 해결됩니다. 또한 FFT 패턴(그림 1(b))에서 오후 39.3에 해당하는 지점과 오후 40.5에 해당하는 지점을 보여줍니다. 그림 20(c)에서 1 프레임 통합으로 얻은 STEM-HAADF 이미지에서 Ga-Ga 아령 거리를 보다 명확하게 보여줍니다. 그리고 Fig.2(d)에 나타난 그것의 FFT 패턴은 Fig.36.1(b)에서 얻은 것보다 훨씬 더 멀리 있는 오후 1 지점을 보여준다. 이러한 결과는 이 현미경이 정확히 가장 높은 해상도를 제공한다는 것을 보여줍니다.
![그림 1. (a) 단일 프레임 획득으로 얻은 GaN [212]의 STEM-HAADF 이미지. (b) (a)에 표시된 이미지의 FFT 패턴. (c) 20 프레임 통합으로 얻은 STEM-HAADF 이미지. (d) (c)에 표시된 이미지의 FFT 패턴.](https://www.jeol.com/solutions/applications/details/product_file/file/1974_02.jpg)
그림 1. (a) 단일 프레임 획득으로 얻은 GaN[212]의 STEM-HAADF 이미지. (b) (a)에 표시된 이미지의 FFT 패턴. (c) 20 프레임 통합으로 얻은 STEM-HAADF 이미지. (d) (c)에 표시된 이미지의 FFT 패턴.
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