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JEM-1400Flash에 의한 고해상도 TEM 이미지

EM2020-11E

JEM-1400Flash의 광학계는 0.14nm의 초고해상도로 촬영할 수 있으며, 배율 범위(최소 배율: 10배)는 전체 샘플 메시(φ2mm)를 하단 장착 카메라로 촬영할 수 있습니다.
전체 샘플 메시를 관찰할 수 있도록 대물 렌즈는 매우 낮은 배율에서 여기되지 않습니다. 반면 고배율에서는 대물렌즈가 들뜨고 대물렌즈 아래에 생성된 상면이 결상렌즈에 의해 확대되어 최대 1.5만 배의 배율을 얻을 수 있다(Fig. 1).
이때, 대물렌즈의 후초점면에 대물렌즈개구부를 삽입하므로 콘트라스트가 높은 영상을 얻을 수 있다.
대물렌즈가 여기된 상태에서 수백 배의 저배율 이미지를 얻기 위해서는 대물렌즈 미니(OM) 렌즈가 여기되고 상면이 축소된다(Fig. 2). 이 경우에도 콘트라스트를 결정하는 대물렌즈 조리개가 후면 초점면에 삽입되므로 저배율에서 고배율까지 동일한 콘트라스트를 얻을 수 있습니다. JEM-1400Flash는 매우 낮은 배율에서 최대 1.5만 배까지 이미지 회전 없이 부드럽게 배율을 변경할 수 있으며 항상 높은 콘트라스트로 관찰이 가능합니다.
저배율 이미지와 고배율 이미지를 쉽게 얻을 수 있는 광학계를 갖춘 JEM-1400Flash로 촬영한 고해상도 TEM 이미지를 보여준다(Fig. 3).

그림 1 고배율을 만들기 위해 대물렌즈를 자극할 때

그림 1 고배율을 만들기 위해 대물렌즈를 자극할 때

그림 2 저배율을 만들기 위해 OM 렌즈를 여기할 때

그림 2 저배율을 만들기 위해 OM 렌즈를 여기할 때

3. JEM-1400Flash (HR) で撮影した高分解能像 (試料:金単結晶, 加速電圧:120 kV)
샘플 : Au 단결정
가속 전압: 120kV
3. JEM-1400Flash (HR) で撮影した高分解能像 (試料:카본나노츄브、加速電圧:120 kV)
시료 : 단층 탄소나노튜브
가속 전압: 120kV
3. JEM-1400Flash (HR) で撮影した高分解能像(試料:그라파이트、加速電圧:120 kV)
샘플 : 흑연
가속 전압: 120kV

그림 3 JEM-1400Flash(HR)로 촬영한 고해상도 이미지

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