거친 펌핑

"러프 펌핑"은 대기압에서 주요 고진공 펌핑으로 전환하기 위한 압력으로 펌핑하는 것을 의미합니다. 회전식 확산 펌프 시스템에서 스위칭 압력은 1 Pa에서 0.1 Pa 사이입니다.

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