선택 영역 회절, SAD

시료에 평행한 전자빔을 조사하여 얻은 스폿 회절 패턴으로부터 결정 구조를 정성 분석하는 방법입니다. 대물렌즈의 상면에 Selector(selected-area) aperture를 삽입하여 직경이 수 100nm인 시료영역에서 회절무늬를 얻는다. 이 방법을 사용하면 선택한 영역의 격자 매개변수, 격자 유형 및 결정학적 방향을 결정할 수 있습니다.


대물렌즈(OL)와 1단계 결상렌즈계(중간렌즈(IL2, IL3, ILXNUMX)와 투사렌즈(PL))로 구성된 결상렌즈계의 표준 광선도 개요.

(a) 이미지 관찰 모드는 대물렌즈에 의해 형성된 이미지에 촬상 렌즈를 초점을 맞추어 표본의 확대된 이미지를 화면에서 관찰하는 모드입니다.
이 모드에서는 선택 영역 조리개(SA)가 대물 렌즈의 이미지 평면에 삽입되어 관찰 영역(시야)이 선택됩니다.

(b) 결상렌즈를 대물렌즈의 후초점면에 초점을 맞추어 시료의 회절무늬를 화면상에서 관찰하는 회절무늬 관찰모드. 촬상 모드에서 회절 모드로 전환함으로써, 단계 (a)에서 선택된 영역에서만 형성된 회절 패턴이 얻어진다.


 

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