초고전압 전자 현미경, UHV-EM

"초고전압 전자현미경(UHV-EM)"은 1000kV 이상의 고전압으로 전자를 가속시키는 전자현미경이다. 1000kV에서 전자의 파장은 0.00087nm로 짧아집니다. 단파장을 이용하여 약 0.1nm의 분해능을 얻었고, 탄소 등의 가벼운 원소를 선명하게 관찰하였다. 그러나 최근에는 구면 수차 보정기가 장착된 300kV 현미경으로 고해상도 이미징이 가능해졌습니다. UHV-EM의 장점은 높은 투과력으로 두꺼운 시편을 관찰할 수 있고, 고에너지 전자빔을 이용하여 시편의 방사선 손상을 조사할 수 있으며, 시편 챔버의 충분한 공간을 활용하여 제어된 조건에서 화학 반응을 조사할 수 있다는 점입니다.


초고전압전자현미경(UHV-EM)은 입사전자를 1000kV 이상의 고전압으로 가속시키는 전자현미경이다. 1000kV에서 전자의 파장은 0.00087nm로 짧아집니다. 단파장을 이용하여 약 0.1nm의 현미경 이미지의 공간 분해능을 얻었습니다. UHV-EM의 또 다른 장점은 높은 투과력을 이용한 두꺼운 시편 관찰, 고에너지 전자빔을 이용한 시편의 방사선 손상 조사, 넓은 시편 챔버 공간을 활용하여 제어된 환경에서 화학 반응 연구 등이 있습니다.
 

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