페닝(진공) 게이지

냉음극 이온화 게이지. 페닝(진공) 게이지는 한 쌍의 평행판 전극(캐소드) 사이에 환형 전극(양극)을 놓고 그 축에 평행하게 자기장을 가해 전자의 이동 거리를 늘린다. 그 결과 낮은 압력에서도 일정한 토출이 일어나므로 Penning 게이지는 중진공에서 고진공 영역 또는 1~10의 압력을 측정할 수 있습니다.^-4Pa. 생성된 전류는 진공 압력에 비례합니다. TEM의 경우 게이지가 견고하고 사용하기 쉽기 때문에 게이지는 확산 펌핑(DP)에서 스퍼터 이온 펌핑(SIP)으로 배출 시스템을 전환하는 데 사용됩니다.

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