디스캔

De-scan은 XNUMX단 편향 코일을 사용하여 광축에서 편향된 전자빔을 다시 광축으로 가져오는 것을 의미하며 편향은 입사 전자빔의 조명 위치 또는 시편에 대한 조명 각도에 의해 발생합니다. 디 스캔은 주로 다음 두 가지 경우에 적용됩니다.

1) 입사된 전자빔이 시편의 넓은 영역에 걸쳐 스캔될 때, 전자빔은 스캔된 영역의 주변부에서 광축을 벗어날 수 있다. 그러면 중심이 광축으로 조정된 STEM 또는 EELS 검출기에 전자빔의 입사 위치 또는 입사각이 축에서 벗어나게 된다.
STEM의 경우; 시료의 스캔 포인트를 통과하는 전자빔이 STEM 검출기에서 벗어나면 STEM 이미지 강도가 검출되어야 하는 정확한 강도와 비교하여 변경됩니다.
EELS의 경우 시편의 스캔점을 통과한 전자빔이 EELS 검출기의 중심을 향하지 않거나 검출기의 광축에 대해 비스듬하게 진행되면 EELS 스펙트럼의 에너지 값을 정확하게 측정할 수 없습니다.
STEM 또는 EELS 검출기에 대한 이러한 바람직하지 않은 전자빔 위치 또는 각도를 피하기 위해 이미지 형성 렌즈 시스템의 XNUMX단 편향기 코일은 항상 전자빔을 중심으로 되돌리기 위해 빔 스캔과 동시에 작동됩니다. 검출기 및/또는 광축에 평행합니다.
 
2) 세차 전자 회절의 경우 입사 전자빔을 시편의 특정 지점으로 세차 처리하기 위해 조명 렌즈 시스템의 5단 편향기 코일이 사용됩니다. 첫 번째 편향기 코일은 입사 전자빔을 특정 각도(최대 약 XNUMX°)로 기울이고 두 번째 편향기 코일은 기울어진 입사 전자빔의 광축으로부터의 변위를 보상합니다. 그러면 시료를 통과한 전자빔이 광축에 대해 비스듬하게 진행됩니다. 이미지 형성 렌즈 시스템의 XNUMX단 디펙터 코일은 광축에서 작동하도록 전자빔을 다시 가져오는 데 사용됩니다. 이러한 XNUMX단 디펙터 코일의 동작에 의해 세차 회절 패턴이 얻어진다.  

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