연속적으로 공급되는 넓은 플라스틱 필름 또는 대형 유리판으로 금속 및 금속 산화물의 진공 증발을 위한 고출력 전자빔 소스. 또한 고융점 금속의 진공 용해에도 사용됩니다.
특징
전자빔은 넓은 면적을 고속으로 쓸 수 있습니다. 전용 제어장치와 소프트웨어로 다양한 빔 조사 패턴과 영역을 생성할 수 있습니다. 조사 위치별 Sweeping, Dwell Time, 출력 및 Beam 형상을 개별적으로 설정할 수 있어 용융면 및 막두께 분포를 제어할 수 있습니다.
어플리케이션
진공 증착
가스 배리어 필름, 보호 필름, 전극 필름, 전도성 필름, 자기 저장 필름.
진공 용해
Ti, Ta, Nb, Mo 등의 고융점 금속의 정련/잉곳 생산
태양전지용 다결정 실리콘 정제.
고출력 전자빔 소스
위 상자에서 "다시보기" 버튼을 클릭하면 영화가 시작됩니다(1분 동안).
이 영화에는 빛이 번쩍이는 순간이 포함되어 있습니다.
영화를 보는 것은 발작/뇌졸중과 같은 신체적으로 영향을 미치거나 기분이 나쁠 수 있습니다.
영화를 볼 때 밝은 방에서 영화와 적당한 거리를 유지하십시오. 귀하의 세심한 관심을 부탁드립니다.
2라인 스캐닝
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이 영화에는 빛이 번쩍이는 순간이 포함되어 있습니다.
영화를 보는 것은 발작/뇌졸중과 같은 신체적으로 영향을 미치거나 기분이 나쁠 수 있습니다.
영화를 볼 때 밝은 방에서 영화와 적당한 거리를 유지하십시오. 귀하의 세심한 관심을 부탁드립니다.
제품 사양
| 모델 | EBG-300UA | JEBG-1000UB | JEBG-3000UB |
|---|---|---|---|
| 최대 출력 | 30kW
(20kV, 1.5A) |
100kW
(30kV, 3.4A) |
300kW
(40kV, 7.5A) |
| 빔 편향 각도 | 최대 ±30° | ||
| 스위핑 방향 | X, Y축 | ||
| 최대 스위핑 주파수 | 300Hz | 200Hz | 200Hz
(300Hz: 옵션) |
| 해당 전원 | ST-30BE2 | JST-100C | JST-300CHR |
카탈로그 다운로드
어플리케이션
애플리케이션 JEBG 시리즈
금속 재료 용융에 사용되는 고출력 전자빔 소스 : 다결정 실리콘 정제용 진공 용해로
