IB-09010CP의 기능 외에도 부착된 CCD 카메라를 이용하여 처리 진행 상황을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다.
특징
처리 진행 상황을 추적할 수 있는 모니터 카메라(x20~x100)가 장착되어 있습니다.
대기 시간 없이 자동으로 처리를 시작하는 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 방식으로 공정을 최적의 진공 속도로 시작할 수 있습니다.
옵션으로 8kV 전원 공급 장치가 있어 300μm/h의 높은 처리 속도를 제공합니다(실리콘 기판 환산 기준, 발생량: 100μm, 평균 2시간).
터치패널로 간편한 조작
제품 사양
| 이온 가속 전압 | 2 ~ 6kV |
|---|---|
| 이온빔 직경 | 500μm(전폭 반치폭) |
| 밀링 속도 | 100m/h(2시간 평균값, 가속 전압: 6kV, 시료: Si, 가장자리에서 100m) |
| 최대 표본 크기 | 11mm(너비) × 10mm(길이) × 2mm(두께) |
| 시편 이동 범위 | X축:±10mm, Y축:±3mm |
| 표본 회전 각도 조정 범위 |
± 5 ° |
| 시편 연마 스윙 각도 | ±30(특허출원) |
| 조작 | 터치 패널 |
| 가스 | 아르곤(매스 플로우 컨트롤러에 의해 제어되는 유량) |
| 압력 측정 | 페닝 게이지 |
| 메인 진공 펌프 | 터보 분자 펌프 |
| 치수 및 무게 | 기본 유닛: 380mm(W)×570mm(D)×520mm(H), 66kg 로터리 펌프: 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H), 16kg |
| 선택적 첨부 파일 | 8kV 전원 공급 장치 시편 회전 홀더(SM-09011) 하이포지셔닝 CCD 카메라(IB-83910CCD) 대형 표본 홀더 |
설치 요구 사항
| 출력 | 단상 100~120V ±10% AC, 50/60Hz, 0.5~0.6kVA |
|---|---|
| 접지 터미널 | 100Ω 이하 |
| 아르곤 가스 | 압력: 0.15±0.05MPa(1.0~2.0kg/cm2) 순도: 99.9999% 이상 (아르곤가스, 가스실린더, 레귤레이터는 고객님께서 준비하셔야 합니다.) 호스 조인트:JIS B0203, Rc1/4 |
| 실온 | 15에서 25 ℃ |
| 습기 | 60% 이하 |
사양은 사전 통지없이 변경 될 수 있습니다.
어플리케이션
출원 IB-09020CP
SEM 이미징을 위한 Ar 넓은 이온 빔에 의한 우레탄 고무의 단면
SEM용 골조직의 고품질 단면 준비: 생물학적 표본에 단면 연마제 적용
