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JEM-2800 고처리량 전자현미경

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JEM-2800은 뛰어난 유용성을 제공하는 동시에 고해상도, 높은 처리량 및 고감도 분석을 달성하는 다목적 TEM/STEM입니다.

기능

모든 종류의 표본에 적합한 SEM을 포함한 다양한 관찰 모드

새로 설계된 전자 광학 시스템은 고해상도 관찰과 높은 처리량 분석을 모두 제공합니다. JEM-2800은 TEM, STEM, SEM 및 전자 회절 관찰 모드 간의 빠른 전환이 가능하며 밝은 실내에서도 관찰이 가능합니다. 스캐닝 이미지 모드에서는 STEM-BF, STEM-DF 및 SE 이미지를 동시에 관찰할 수 있습니다. 이 기능은 서브나노 구조까지 넓은 영역을 조사하는 넓은 배율 범위에서 시편의 다양한 정보를 얻을 수 있는 기능입니다.

자동화 및 내비게이션이 지원하는 운영 환경

JEM-2800은 대비 및 밝기 조정, 시편 높이(Z) 조정, 결정 방향 정렬, 초점 및 난시 보정을 포함한 다양한 자동 기능을 제공합니다. 한편, 현미경 작동을 위한 표준 절차를 영화를 통해 제공하는 내비게이션 시스템 JEM-Navi™를 사용하면 작업자의 기술 수준에 영향을 받지 않고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 표준으로 통합된 TMP 기반 진공 시스템을 사용하면 시료 교환 시간이 약 30초로 단축됩니다.

100mm 대면적 고속분석2 SDD(듀얼 SDD)

JEOL만의 넓은 면적(100mm2) 실리콘 드리프트 검출기(SDD)*1. 이 검출 시스템은 현미경의 기본 성능에 영향을 주지 않고 큰 입체각을 확보하여 이전 모델보다 빠르고 효율적인 X-ray 분석이 가능합니다. 또한 특정 시편 및/또는 측정에 적합한 최적의 프로브 직경을 선택하여 보다 빠르고 정확하게 분석할 수 있습니다.

*1 : 옵션

데이터 관리 시스템 및 보고서 작성 지원 도구

사용자들의 많은 요청에 부응하여 결과를 신속하게 보고할 수 있는 통합 데이터 관리 시스템을 개발했습니다. 획득한 영상 및 분석 데이터는 통합 관리 소프트웨어인 "Image Center"로 자동 전송됩니다. *2 LAN을 통해. 클라이언트 PC에서 데이터에 액세스하여 "Image Excite"를 사용한 측정 *2 및 "Region Gauge Center"를 사용한 입자 분석 *2, 데이터 레이아웃 프로그램 "Image Report"를 사용하여 결과에 대한 보고서를 생성합니다.*2

*2 : SYSTEM INFRONTIER INC. 제품

제품 사양

분해능
SEM(가장자리에서 가장자리까지) ≦0.5nm(200kV에서)
줄기 0.16nm(200kV에서)
TEM(격자) 0.1nm(200kV에서)
[배율](24인치 와이드 LCD에서)
SEM X100~X150,000,000
줄기 X100~X150,000,000
TEM X500~X20,000,000
[전자원]
이미 터 ZrO/W(100)
가속 전압 200kV, 100kV
[시료 시스템]
시편 스테이지(Goniometer) Eucentric 사이드 엔트리 스테이지
표본 크기 3mmΦ
더블 틸트 홀더로 최대 틸트 각도 XX : ±20°
Y : ±25°
모터 구동 메커니즘의 이동 범위 X, Y: ±1mm
지:±0.2mm
* 피에조 구동 메커니즘(X,Y)
[선택권]
주요 설치 가능 옵션 EDS
EELS
CCD 카메라
TEM / STEM 단층 촬영 시스템

어플리케이션

적용 JEM-2800

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JEOL 제품의 응용

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