JEM-F200은 전계 방출 투과 전자 현미경으로, 다목적 작동을 위한 직관적인 사용자 인터페이스와 결합된 더 높은 공간 분해능과 분석 성능을 갖추고 있습니다.
기능
JEM-F200의 움직임(유튜브)
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높은 가속 전압부터 낮은 가속 전압까지 고해상도 TEM/STEM 관찰
JEM-F200은 높은 안정성, 높은 밝기 및 높은 에너지 분해능(<0.33eV)을 보장하는 저온 전계 방출 전자총을 제공합니다.
이 전자총은 전자 소스의 에너지 확산으로 인한 색수차를 최소화하여 고해상도 이미징을 효과적으로 달성합니다.
또한, JEOL의 10년 이상의 전문 지식을 설계에 통합하여 기계적, 전기적 안정성을 크게 향상시켰습니다.
높은 처리량과 높은 정확도의 EDS 분석
JEM-F200에는 XNUMX개의 대면적 실리콘 드리프트 감지기(SDD)를 동시에 장착하여 고감도 분석을 제공할 수 있습니다.
넓은 면적과 높은 감도 덕분에 손상을 줄이면서 짧은 시간에 효율적인 EDS 분석이 가능합니다.
또한 EDS 매핑 중에 라이브 STEM 이미지를 통해 고속, 무손실 드리프트 보정을 활용하면 전자빔으로 인한 샘플 손상을 줄이면서 효율적인 측정이 가능합니다.
높은 에너지 분해능을 갖춘 EELS 분석
JEM-F200의 CFEG는 쇼트키 전계 방출 전자총의 성능을 능가하는 높은 에너지 분해능에서 화학 결합 상태 및 전자 구조 분석을 얻을 수 있습니다.
이는 EELS(옵션)와 함께 높은 에너지 분해능(<0.33eV)을 보장하는 저온 전계 방출 전자총을 통합함으로써 가능해졌습니다.
초보자도 스트레스를 최소화한 간편한 조작
JEM-F200은 사용자 편의성을 강조한 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있습니다.
TEM과 STEM 모두에 대한 포괄적인 자동 기능을 제공하므로 초보자도 쉽게 작동할 수 있습니다.
또한, 시료 홀더를 쉽게 삽입하고 제거할 수 있도록 SPECPORTER™가 통합되어 있어 안전하고 자동화된 시료 홀더 삽입이 가능합니다.
또한 샘플 스테이지에는 Pico 스테이지 드라이브가 장착되어 있어 피에조 드라이브 메커니즘 없이도 피코미터 수준의 정밀한 움직임이 가능합니다.
이를 통해 전체 샘플 메시부터 원자 수준 이미징까지 광범위한 시야 조정이 가능합니다.
자동 기능
자동 게인 및 오프셋 → 자동 초점 → 자동 난시 보정
FIB 샘플 준비부터 TEM/STEM 이미징까지 원활한 워크플로
이중 틸트 카트리지와 전용 TEM 홀더는 TEM과 FIB 작업 간의 연결을 용이하게 합니다.
카트리지는 한 번의 터치로 FIB 홀더와 TEM 샘플 홀더 사이를 쉽게 이동하므로 처리 후 TEM 라멜라를 처리할 필요가 없습니다.
지속가능한 사회를 위한 투과전자현미경
JEM-F200은 ECO 모드를 표준으로 통합한 최초의 투과 전자 현미경입니다. 이 모드는 사용하지 않는 동안 최소한의 에너지 소비로 장비를 효율적으로 유지하여 에너지를 절약합니다.
ECO 모드를 활성화하면 에너지 소비가 정상 작동 시의 약 5분의 1로 줄어들어 보다 지속 가능한 사회에 기여합니다.
또한 특정 날짜와 시간에 장비가 ECO 모드에서 사용 가능한 상태로 돌아갈 수 있도록 하는 예약 기능이 있습니다.
제품 사양
| 스펙 | 초고해상도 | 고해상도 | |
|---|---|---|---|
| TEM 분해능 (200kV에서) |
포인트 해상도 격자 해상도 정보 제한 |
0.19 nm의 0.1 nm의 0.11nm 이하(Cold FEG 포함) 0.12nm 이하(쇼트키 FEG 사용) |
0.23 nm의 0.1 nm의 0.11nm 이하(Cold FEG 포함) 0.12nm 이하(쇼트키 FEG 사용) |
| STEM 분해능 (200kV에서) |
HAADF-STEM 이미지 | 0.14nm(Cold FEG 포함) 0.16nm(쇼트키 FEG 사용) |
0.14nm(Cold FEG 포함) 0.16nm(쇼트키 FEG 사용) |
| 전자총 | 저온 전계 방출 전자총 쇼트키형 전계 방출 전자총 |
||
| 가속 전압 | 20kV~200kV (기본적으로 200kV, 80kV 선택 가능. 기타 가속전압은 옵션임) |
||
| 표본 이동 * | X,Y ±1.0mm Z ±0.1mm | X,Y ±1.0mm Z ±0.2mm | |
| 표본 기울기 각도 * | TX/TY(이중 틸트 홀더) ±25°/ ±25° TX(하이틸트 홀더) ±60° |
TX/TY(이중 틸트 홀더) ±35° / ±30° TX(하이틸트 홀더) ±80° |
|
| 주요 설치 옵션 | 에너지 분산형 X선 분광법(EDS), 전자 에너지 손실 분광법(EELS), 디지털 카메라, TEM/STEM/EDS 단층 촬영 시스템 |
||
* 표본 홀더 유형이나 대물렌즈 삽입 여부에 따라 이동 범위가 달라질 수 있습니다.
카탈로그 다운로드
어플리케이션
애플리케이션 JEM-F200
갤러리 (Gallery)
재질: Si [110] 고해상도 STEM
시료: Si[110]
현미경: JEM-F200 HR 폴피스(CFEG 포함)
조건: 200kV, STEM
자료: 단층 MoS2 시트
샘플: 단일층 MoS2 시트
현미경: JEM-F200 HR 폴피스(CFEG 포함)
조건: 200kV, STEM
생명 과학: 80kV에서 ABS 폴리머의 TEM 이미지
샘플: ABS 폴리머
현미경: JEM-F200 HR 폴피스(CFEG 포함)
조건: 80kV, TEM
샘플 준비: 마이크로톰
자료: SrTiO3/이중 SDD
샘플: SrTiO3
현미경: JEM-F200 HR 폴피스(CFEG 포함)
조건: 200kV, STEM, 이중 SDD(100mm)2 ×2), 256x256 픽셀, 매핑 시간 10분
재료: 향상된 콜드 FEG
작은 에너지 확산으로 높은 밝기
EELS에 의한 탄소 동소체의 화학 결합 상태 분석
낮은 가속 전압 / 80kV
견본
a) 단일벽 탄소나노튜브
b) 흑연/고표면적 흑연
다) 다이아몬드
d) 비정질 탄소
샘플: 탄소 동소체
현미경: JEM-F200 HR 폴피스(CFEG 포함)
조건: 80kV, TEM 이미지, EELS QuantumER
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