닫기

지역 사이트 선택

닫기

스폿형 전자빔 리소그래피 시스템 JBX-8100FS는 높은 처리량, 작은 설치 공간 및 전력 절약을 달성했습니다.

특징

작은 설치 공간

표준 시스템에 필요한 면적은 4.9m(W) x 3.7m(D) x 2.6m(H)로 기존 시스템보다 훨씬 작습니다.

낮은 전력 소비

정상 작동에 필요한 전력은 약 3kVA로 기존 시스템의 1/3로 줄었습니다.

높은 처리량

이 시스템에는 고해상도 및 고처리량 모드의 두 가지 노출 모드가 있어 초미세 처리에서 중소 규모 생산에 이르기까지 다양한 유형의 패터닝을 지원합니다. 고속 쓰기를 위한 1.25MHz(세계 최고 수준)까지 최대 스캐닝 속도를 2.5~125배 증가시키면서 노광 시 유휴 시간을 최소화했다.

버전

JBX-8100FS는 G2(엔트리 모델)과 G1(풀 옵션 모델)의 2가지 버전으로 제공됩니다. 필요에 따라 옵션 액세서리를 G1 모델에 추가할 수 있습니다.

새로운 기능

레지스트를 빛에 노출시키지 않고 샘플의 패턴을 검사할 수 있도록 광학 현미경 옵션을 사용할 수 있습니다. 신호 타워는 시스템 작동의 시각적 모니터링을 위해 표준으로 제공됩니다.

레이저 포지셔닝 분해능

스테이지 위치는 표준으로 0.6nm 단계로 측정 및 제어되며 옵션 업그레이드가 있는 경우 0.15nm 단계로 측정 및 제어됩니다.

시스템 제어

새로운 그래픽 사용자 인터페이스와 결합된 다용도 Linux® 운영 체제는 작동을 용이하게 합니다. 데이터 준비 프로그램은 Linux®와 Windows®를 모두 지원합니다.

 

200kV 모델!

최대 가속 전압 200kV의 세계로

JBX-8100FS는 다양한 응용 분야에서 높은 처리량 및 고정밀 요구 사항을 구현하도록 설계된 가우시안 빔 광학이 포함된 직접 쓰기 EBL 시스템입니다.
모듈식의 업그레이드 가능한 플랫폼은 첨단 나노구조의 제조에서 화합물 반도체 소자의 생산에 이르기까지 다양한 분야를 지원합니다.

홀로그래피, 그레이 스케일 및 마이크로 렌즈 어레이와 같은 고급 애플리케이션 구현

아래 이미지는 100kV와 200kV 사이의 EBL 비교입니다.
200kV는 상당히 두꺼운 레지스트로 감소된 테이퍼 효과를 보여줍니다.

100kV와 200kV의 가속 전압 비교(샘플: 10um 두께의 레지스트)

가속 전압 100kV
3,000μC/cm2

가속 전압 200kV
5,000μC/cm2

 

저항 : PMMA
두께 : 10um
필드 크기 : 500um
패턴 폭 : 2um
기재 : Si

주의 사항 :
Windows는 미국 및 기타 국가에서 Microsoft Corporation의 등록 상표입니다.
Linux®는 미국 및 기타 국가에서 Linus Torvalds의 등록 상표입니다.

제품 사양

버전 G1(엔트리 모델) G2(풀옵션 모델) G3(200kV 모델)
쓰기 방법 스폿 빔, 벡터 스캔, 단계 및 반복.
가속 전압 100 kV 100kV / 50kV 200kV / 130kV / 100kV / 50kV
빔 전류 5 × 10-12  2 × 10-7 A
필드 크기 최대 1,000μm × 1,000μm 최대 2,000μm × 2,000μm
스캔 속도 최대 125MHz
무대 가동 영역 190 mm × 170 mm
오버레이 정확도 ≤ ±9 nm ≤ ±8 nm
스티칭 정확도 ≤ ±9 nm ≤ ±8 nm
전기 요구 사항(일반) 3kVA
기판 크기 최대 200mmΦ 웨이퍼
6인치 마스크 블랭크
모든 크기의 작은 샘플
기판 이송 단일 자동 로더 12카세트 자동 로더
주요 설치 옵션 광학현미경
25kV 고전압 프로그램
데이터 준비 프로그램 추가 라이선스
고해상도 레이저 빔 제어 시스템

카탈로그 다운로드

어플리케이션

애플리케이션 JBX-8100FS

갤러리 (Gallery)

더 많은 정보

과학 기초

메커니즘에 대한 쉬운 설명과
JEOL 제품의 응용

닫기
주의

귀하는 의료 전문가 또는 의료에 종사하는 직원입니까?

아니

이 페이지는 일반 대중에게 제품에 대한 정보를 제공하기 위한 것이 아닙니다.

Contacts

JEOL은 고객이 안심하고 제품을 사용할 수 있도록 다양한 지원 서비스를 제공합니다.
Please feel free to contact us.