Oxford Instruments의 OmniProbe 350은 높은 정밀도와 원활한 작동을 특징으로 하는 나노 매니퓰레이터입니다.
JIB-4700F Multi Beam System에 부착하면 SEM, FIB로 관찰하면서 리프트아웃 작업이 가능합니다.
일련의 TEM 시편 준비 프로세스는 JIB-4700F의 시편 챔버 내에서 완료될 수 있습니다.
특징
직관적인 프로브 작동
프로브 동작은 SEM과 FIB의 관찰 방향에 의해 정의된 좌표로 제어할 수 있습니다.우수한 선형성
모든 방향으로 직선으로 움직이는 프로브는 트렌치 측면에 부딪히지 않고 안전하게 들어 올릴 수 있습니다.정확한 이동(위치 저장 포함)
사용자는 한 번의 클릭으로 프로브를 완전히 수축된 위치에서 작업 위치로 이동할 수 있습니다. 또한 사용자가 정의한 작업 위치를 저장할 수 있으며 저장된 위치로 프로브를 불러올 수 있습니다.낮은 소음, 낮은 드리프트
유휴 상태일 때 진동과 드리프트를 최소화하여 리프트 아웃 시 위험을 줄입니다.현장 팁 변경
전자현미경의 챔버를 환기시키지 않고 단시간에 프로브 바늘을 교체할 수 있습니다.
OmniProbe 350을 사용한 TEM 시편 준비 흐름
관련 링크
제품
제품 사양
주요 부분 | 스트로크 X:±2mm, Y:±1mm, Z:44mm |
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속도 최소:50nm/s, 최대:500μm/s | |
최소 스텝 이동 거리 50nm 이하 | |
제어 섹션 | 컨트롤러, PC, 모니터, 소프트웨어 |
필수 유틸리티 | AC 90 -264V, 47 - 63Hz x 1 |
적용 계기 |