최첨단 분석용 전자현미경인 JEM-2200FS는 200kV FEG(Field Emission Gun)와 비탄성 전자가 존재하는 Zero Loss 영상을 가능하게 하는 In-Column Energy Filter(Omega filter)를 탑재하고 있습니다. 제거하여 대비가 높은 선명한 이미지를 생성합니다. 그리고 낮은 손실 또는 코어 손실 에너지에서 전자와 함께 형성되는 에너지 필터링 이미지는 시료의 화학적 상태 또는 원소 정보를 제공합니다. 또한, 시료의 원소분석 및 화학분석을 위한 분광기도 이용 가능합니다.
특징
컬럼내 에너지 필터(오메가 필터)
컬럼 내 에너지 필터를 사용하면 에너지 필터링된 이미지와 전자 에너지 손실 스펙트럼을 얻을 수 있습니다. 최적으로 설계된 필터는 왜곡 없는 필터링된 이미지를 제공합니다.
제어 시스템
JEM-2200FS의 광학 시스템, 고니오미터 스테이지 및 대피 시스템과 같은 주요 구성 요소는 완전히 PC로 제어됩니다. 이 시스템은 고품질의 데이터를 안정적으로 생성합니다.
이미징 시스템
XNUMX단계 중간 렌즈와 XNUMX단계 프로젝터 렌즈로 구성된 새로운 이미징 시스템은 광범위한 배율과 카메라 길이에 걸쳐 회전 없는 에너지 필터링 TEM 이미지와 회절 패턴을 구현합니다.
피에조 제어 각도계
피에조 장치를 통합한 새로운 고니오미터 스테이지는 원자 수준에서 시야를 검색하기 위한 원활한 작동을 제공합니다.
다른 기기와의 통합
현미경은 PC로 완벽하게 제어할 수 있습니다. 설계 개념을 통해 EDS 시스템과 CCD 카메라를 통합할 수 있습니다.
제품 사양
| 구성※ 1 | 초고해상도 (UHR) |
고해상도 (인사) |
높은 표본 기울기 (HT) |
냉동 (CR) |
고 대비 (HC) |
|---|---|---|---|---|---|
| 분해능 | |||||
| 포인트 적립 격자 |
0.19 nm의 0.1 nm의 |
0.23 nm의 0.1 nm의 |
0.25 nm의 0.1 nm의 |
0.27 nm의 0.14 nm의 |
0.31 nm의 0.14 nm의 |
| 에너지 분해능 | 0.8 eV(무손실 FWHM) | ||||
| Acc. 전압 | 160kV, 200kV※ 2 | ||||
| 최소 단계 크기 에너지 이동 |
50 V 최대 3,000V(0.2V 단위) |
||||
| 전자 소스 | |||||
| 이미 터 | ZrO/W(100) 쇼트키 | ||||
| 표면 타입 | ≧4×108 A／센티미터2 ・씨 | ||||
| 진공 | × 10-8 아빠 주문 | ||||
| 프로브 전류 | 0.5nm 프로브에서 1nA | ||||
| 전력 안정성 | |||||
| Acc. 전압 | ≤1×10-6／분 | ||||
| OL 전류 | ≤1×10-6／분 | ||||
| 필터 전류 | ≤1×10-6／분 | ||||
| 객관적인 렌즈 | |||||
| 초점 거리 | 1.9 mm | 2.3 mm | 2.7 mm | 2.8 mm | 3.9 mm |
| 구의 수차 |
0.5 mm | 1.0 mm | 1.4 mm | 2.0 mm | 3.3 mm |
| 반음계 수차 |
1.1 mm | 1.4 mm | 1.8 mm | 2.1 mm | 3.0 mm |
| 최소 단계 | 1.0 nm의 | 1.4 nm의 | 1.8 nm의 | 2.0 nm의 | 5.2 nm의 |
| 스폿 크기(직경) | |||||
| TEM 모드 | 2 ~ 5nm | ７ ~ 30nm | |||
| EDS 모드 | 0.5 ~ 2.4nm | 1.0~2.4nm | - | 4~20nm | |
| 익일 모드 | - | - | |||
| CBD 모드 | 1.0~2.4nm | - | |||
| CB 회절 | |||||
| 수렴 각도(2α) |
1.5~20mrad 이상 | - | |||
| 수용각 | ± 10 ° | - | |||
| 확대 | |||||
| 매그 모드 | ×2,000~1,500,000 | ×2,000~1,200,000 | ×1,500 ~1,000,000 | ×1,200 ~600,000 | |
| LOW MAG 모드 | ×50 ~1,500 | ||||
| SA MAG 모드 | ×10,000 ~800,000 | ×8,000~600,000 | ×8,000 ~500,000 | ×5,000~400,000 | |
| 에너지 선택 이미지의 시야 크기 | 직경 80mm 10eV를 선택한 경우 최종 이미지 평면(필름)에서 직경 25mm 2eV를 선택한 경우 최종 이미지 평면(필름)에서 |
||||
| 카메라 길이 | |||||
| SA 회절 | 150~1,500mm | 200~2,000mm | 250~2,500mm | 300~3,000mm | |
| EELS 분산 | |||||
| 슬릿에 | 1.2kV에서 200μm/eV | ||||
| 최종 이미지 평면에서 | 50kV에서 300~200μm/eV | ||||
| 표본실 | |||||
| 시프트(XY/Z) | 2mm/0.2mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm | 2mm/0.4mm |
| 시편 기울기 X / Y *3 | ±25°/±25° | ±35°/±30° | ±42°/±30° | ±15°/±10° | ±38°/±30° |
| 시편 경사각(X)※ 4 | ± 25 ° | ± 80 ° | ± 80 ° | ± 80 ° | ± 80 ° |
| EDS※ 5 | |||||
| 입체각※ 6 | 0.13 SR | - | 0.09 SR | ||
| 이륙 각도 | 25 ° | - | 20 ° | ||
JEM-2200FS를 주문할 때 두 구성 중 하나를 선택하십시오.
80kV, 100kV 및 120kV는 가속관용 단락 스위치 옵션을 사용하면 가능해집니다.
시편 틸팅 홀더를 사용하는 경우.
High Tilt Specimen Retainer를 사용하는 경우.
선택적 EDS 검출기가 필요합니다.
30mm일 때2 감지기가 설치되어 있습니다.
카탈로그 다운로드
어플리케이션
애플리케이션 JEM-2200FS
기존 전자 단층 촬영을 넘어 3D로 생물학적 샘플 탐색
Aberration Corrected STEM에서 EELS 및 XEDS에 의한 원자 분해능 원소 매핑
갤러리 (Gallery)
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