자동 TEM 시편 준비 시스템 STEMPLING은 FIB를 사용하여 자동 TEM 시편 준비를 위한 소프트웨어입니다. 이 시스템은 누구나 쉽게 조작할 수 있는 FIB를 이용한 검체 준비와 많은 수의 검체를 생성할 수 있는 기술에 대한 요구를 충족시키기 위해 개발되었습니다. STEMPLING 덕분에 검체 준비에 고도의 전문 기술이 필요하지 않아 누구나 쉽게 검체를 준비할 수 있습니다. 또한 시스템을 통해 여러 개의 검체를 자동으로 준비할 수 있으므로 야간 작업을 통해 많은 수의 검체를 생성하여 작업 효율성을 최적화할 수 있습니다.
STEMPLING은 Multi Beam System JIB-4700F 및 Focused Ion Beam Milling & Imaging System JIB-4000PLUS와 함께 사용할 수 있습니다.
특징
간편한 설정으로 다양한 시료 준비 가능
TEM시편, 단면시편 등 5종의 시편을 준비할 수 있는 표준 레시피를 제공합니다.
FIB를 이용한 검체 준비의 다양한 장면에서 활용할 수 있습니다.
그림 1 표준 레시피를 사용하여 준비할 수 있는 표본. 표본: 실리콘 웨이퍼
자동 처리로 다수의 검체 준비 가능
이온 빔 자동 조정 기능으로 장기간에 걸쳐 여러 시료를 자동으로 준비할 수 있습니다.
이를 통해 밤새 무인 시편 준비가 가능합니다. 그림 2는 약 8시간 동안 연속적으로 TEM 시편을 준비한 결과를 보여준다.
10개의 시편이 준비되었으며, 모두 동일한 방식으로 준비되어 자동화된 시편 준비가 안정적임을 나타냅니다.
그림 2 장시간 연속 TEM 시편 준비(8시간)의 예 시편: 실리콘 웨이퍼
박막 크기:10µm(W) x 7µm(H)
박막 두께: 100nm
편평하지 않은 시편의 신뢰할 수 있는 TEM 시편 준비
자동 편심 조정으로 표면이 고르지 않거나 높이가 다른 재료에서도 안정적인 자동 준비가 가능합니다.
Fig. 3은 약 70㎛의 단차를 갖는 요철 시편을 이용하여 제작된 박막 시편을 보여준다.
박막 시편은 단차의 상부와 하부에서 정확하게 만들어졌다.
그림 3 다양한 표면 높이를 가진 TEM 시편 준비의 예(시편:Si 웨이퍼 상의 TEM 시편 그리드(Cu))
적용 기기
| 제품명 | 모델 | 적용 계기 |
|---|---|---|
| 자동 TEM 시편 준비 시스템 | IB-07080ATLPS | JIB-4000PLUS |
| IB-77080ATLPS | JIB-4700F |
(링크)
JIB-4000PLUS 집속 이온빔 밀링 및 이미징 시스템
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IB-07080ATLPS, IB-77080ATLPS 자동 TEM 시편 준비 시스템 STEMPLING
