이제 광학 현미경과 주사형 전자 현미경 모두에 동일한 시편 홀더를 사용할 수 있습니다. 그 결과 전용 소프트웨어로 스테이지 정보를 관리함으로써 광학현미경으로 관찰한 위치를 기록하고 주사형 전자현미경으로 같은 영역을 더 확대하여 미세한 구조를 더 높은 배율로 관찰할 수 있습니다. 더 높은 해상도. 광학 현미경으로 찾은 관찰 대상은 대상을 다시 찾을 필요 없이 주사형 전자 현미경으로 원활하게 관찰할 수 있습니다. 이제 광학현미경 이미지와 주사형 전자현미경 이미지를 부드럽고 쉽게 비교 검증할 수 있게 되었습니다.
특징
시스템 개요
적용 가능한 모델:
전계 방출 주사 전자 현미경
전자 프로브 미세 분석기(EPMA)
색상을 이용한 데이터 수집 및 직관적인 관찰
광학현미경 이미지(SEM 이미지로는 얻을 수 없음)에서 가시광선 색상 정보를 추가하여 보다 직관적인 시각 효과를 제공하는 SEM 이미지를 제공합니다.
광학 현미경의 기능을 활용한 부드러운 타겟 검색
광학현미경으로 관찰하면 SEM 이미지로는 구별하기 어려운 표적 구조를 쉽게 찾을 수 있다.
전자빔에 의한 시편 손상 방지
전자빔의 손상이나 오염을 방지하기 위해 먼저 광학현미경을 이용하여 관심영역을 찾는 작업을 수행합니다. 이를 통해 관찰 부위에 대한 최소 방사선량으로 SEM 관찰이 가능합니다.
적용 모델 : JXA-8230, JXA-8530F, JXA-8530F플러스
"miXcroscope™ for EPMA" -분석 위치의 신속한 등록 -
miXcroscopy™ for EPMA는 편광현미경을 장착하여 후방산란전자영상에서 원소를 구별하기 어려운 시료의 분석위치를 신속하게 결정합니다.
표본: 미네랄 얇은 섹션
편광 OM 이미지: Mag. x50
후방 산란 전자 이미지: Mag. x50
"miXcroscopy™ for EPMA" -OM 등록 위치의 정확하고 빠른 분석-
기존 흐름
표본: 미네랄 얇은 섹션
EPMA용 miXcroscope™를 사용한 새로운 흐름
EPMA용 miXcroscopy™는 OM과 EPMA의 효율적인 작업 분리를 가능하게 합니다. OM은 분석 영역을 검색하고 분석 포인트를 등록합니다. EPMA는 원소 분석을 수행합니다. 이 과감한 개선으로 EPMA 분석 시간이 크게 늘어납니다.
어플리케이션
응용 프로그램 miXcroscope_EPMA
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