특징
고처리량 밀링 * 1
새로운 이온 소스에 의해 달성된 높은 단면적 밀링 속도:1.2mm/h 이상* 2
(2.4 시간 이전 밀링 속도보다.)
높은 처리량 밀링 시스템은 이온 소스 전극을 최적화하고 더 높은 가속 전압을 가능하게 하여 이온빔 전류 밀도를 개선합니다.
당사에서 새로 개발한 이온 소스는 1.2mm/h 이상의 높은 단면적 밀링 속도(기존 밀링 속도의 2.4배)를 달성합니다.
새로운 이온 소스의 단면 밀링 속도
표본: 실리콘 웨이퍼
가속 전압: 10kV
밀링 시간: 1시간
저융점 합금의 단면 밀링(냉각)
가속 전압: 10kV
밀링 시간: 30분
오른쪽 SEM 이미지는 녹는점이 150°C인 Sn-Bi 합금을 보여줍니다.
저 융점 금속은 가공 열로 인해 녹을 수 있습니다. 따라서 밀링 전에 금속을 냉각해야 합니다. 시편이 냉각된 상태로 유지되는 동안 열에 민감한 시편에 높은 처리량 밀링이 적용됩니다. * 3.
그러면 짧은 시간에 열 손상이 감소된 단면 시편을 얻을 수 있습니다.
대면적 밀링 *1,*4
평면 표면 밀링 더 넓은 지역
새로운 고처리량 밀링 시스템은 이온 빔을 시편의 더 넓은 영역에 조사할 수 있게 해줍니다.
Planar surface milling은 기계적 연마로 인한 시편표면의 긁힘이나 결정변형을 제거하는데 효과적입니다.
콘크리트의 평면 밀링
가속 전압: 10kV
밀링 시간: 20분
20mm 너비의 콘크리트에 대면적 평면 밀링을 적용했습니다.
밀링 후 광택 스크래치 및 오염이 제거되어 콘크리트에 포함된 석재 및 시멘트 입자를 명확하게 관찰할 수 있습니다.
이 기능은 선택적 고처리량 사양을 통합하는 IB-19530CP 또는 IB-19520CCP에 포함되어 있습니다.
1시간 밀링, Si 환산, 엣지 거리: 100μm
이 기능은 IB-19520CCP에 포함되어 있습니다.
대형 시편 회전 홀더 IB-11550LSRH가 필요합니다.
화면 이미지에는 아직 개발 중인 항목이 포함되어 있으며 예고 없이 변경될 수 있습니다.
제품 사양
| 높은 처리량 사양 ※ 1 | |||
|---|---|---|---|
| IB-19530CP+IB-10500HMS | IB-19520CCP+IB-10500HMS | ||
| 이온 가속 전압 | 2 ~ 10kV | ||
| 밀링 속도 | 1200μm/h 이상(가속 전압 10kV)※ 2 | ||
| 표본 스윙 기능 ※ 3 | ±30°의 자동 시편 스윙, 각도 설정 스윙 | ||
| 자동 밀링 시작 모드 | ○ | ||
| 자동 냉각 밀링 시작 모드 / 실온 모드로 자동 복귀 |
- | ○ | |
| 시편 스테이지 최종 냉각 온도 | - | –120°C 이하 | |
| 냉각 온도 설정 가능 범위 | - | －120~0℃ | |
| –100°C에 도달하는 시편 냉각 시간 | - | 60분 이내 | |
| 시편 냉각 체류 시간 | - | 8시간 이상 ※ 4 | |
| 공기 차단 기능 | - | - | |
| 간헐 밀링 모드 | 이온 빔 조사 시간 및 정지 시간 설정 가능(ON: 1~999s, OFF: 1~999s) | ||
| 미세 밀링 모드 | 밀링 조건이 자동으로 전환됨 | ||
| 대면적 단면 밀링 모드 ※ 5 | 최대 밀링 폭: 8mm(옵션 대면적 밀링 홀더 IB-11730LMH 포함) | ||
| 대면적 평면 밀링 모드 | ○ ※ 6 | ||
| 최고 표본 크기 |
교차 구역 갈기 |
11mm(W)×10mm(L)×2mm(T) (IB-19530CP용 표준 홀더 포함) 11mm(W)×8mm(L)×3mm(T) (IB-19520CCP 표준 홀더 포함) 25mm(W)×15mm(L)×10mm(T) (옵션 대면적 밀링 홀더 IB-11730LMH 포함) |
|
| 평면 갈기 |
40mm(직경)×15mm(T) (옵션 대형 시편 회전 홀더 IB-11550LSRH 포함) | ||
| 표본의 움직임 | X축: ±6mm, Y축: ±2.5mm | ||
| 조작 | 터치 패널, 6.5인치 디스플레이 | ||
| 밀링을 위한 포지셔닝 | 카메라로 표본 스테이지 위에서 모니터링 ※ 7. 밀링 위치는 광학 현미경으로 조정할 수 있습니다. |
||
| 포지셔닝 카메라(확대) | 약 ×70(6.5인치 디스플레이에서) | ||
| 모니터링 카메라(확대) | 약 ×20 ~ 100(6.5인치 디스플레이에서) *참고: IB-19530CP+IB-14510MCAM과 함께 사용하는 경우 ※ 8 또는 IB-19520CCP. |
||
| 외부 모니터 출력 | 포지셔닝 카메라와 모니터링 카메라를 전환하여 외부 모니터에 표시할 수 있습니다. *참고: IB-19530CP + IB-14510MCAM과 함께 사용하는 경우 ※ 9 또는 IB-19520CCP + EC-10020VST ※ 9. |
||
| 사전 설정 기능 | 밀링 조건 4세트(가속 전압, Ar 가스 흐름, 밀링 시간, 간헐적 밀링) | ||
| 치수 및 무게 | 기본 단위 | 545mm(W)×550mm(D)×420mm(H), 약. 66kg(IB-19530CP + IB-14510MCAM 부착 시) 690mm(W)×720mm(D)×530mm(H), 약. 75kg(IB-19520CCP 부착 시) |
|
| 로터리 펌프 | 약 120mm(W)×288.5mm(D)×163mm(H) 9.3kg | ||
설치 요구 사항
| 전원 공급 장치 | 단상 AC100~120V, 50/60Hz, 입력전압변동허용 : 10%이하, 정격 : 15A 이상 |
|---|---|
| 최대 전력 소비 | 650VA |
| 접지 | 100Ω 이하 |
| 아르곤 가스 ※ 10 | 건조 아르곤, 순도: 99.9999% 이상. 압력: 0.1 ~ 0.2MPa(1.0 ~ 2.0kgf/cm2), 호스 조인트: ISO 7/1 Rc 1/4 |
| 실온 | 15 ~ 25 ° C |
| 실내 습도 | 60 % 이하 (결로 없을 것) |
공장 출하 시 추가되는 옵션입니다.
1시간 밀링, Si 환산, 에지 거리 100μm
특허 번호(일본): 4557130
설정 온도가 높을수록 냉각 유지 시간이 길어집니다.
이 모드는 IB-19520CCP의 냉각 기능과 함께 사용할 수 있습니다.
IB-11550LSRH와 함께 사용할 때.
특허 번호(일본): 4208658
IB-14510MCAM을 부착하여 실시간으로 검체를 모니터링 할 수 있습니다.
밀링이 진행되는 동안 시편의 상태를 관찰할 수 있습니다.
외부 모니터는 고객이 준비해야 합니다.EC-10020VST를 장착하면 카메라 이미지를 외부 모니터에 표시할 수 있습니다.
외부 모니터는 고객이 준비해야 합니다.아르곤 가스, 가스 실린더, 레귤레이터는 고객님께서 준비해 주십시오.
기기의 사양과 외관은 예고 없이 변경될 수 있습니다.
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IB-10500HMS CROSS SECTION POLISHER™ 고처리량 밀링 시스템
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