특징
새로 개발된 슈퍼 하이브리드 렌즈(SHL)는 조작성을 희생하지 않으면서 차세대 고해상도 SEM을 구현하는 데 사용됩니다. 쇼트키형 전자총을 채용하여 큰 프로브 전류로 안정적인 분석이 가능합니다.
슈퍼 하이브리드 렌즈(SHL)를 사용한 고해상도 관찰
대물렌즈는 SHL(Super Hybrid Lens)로, 정전기 자기장과 정전기 전기장이 중첩되어 구성됩니다. 색수차 및 구면 수차를 줄이면 특히 낮은 가속 전압에서 해상도가 향상됩니다. SHL은 시편에 자기장의 영향을 미치지 않으므로 자성체 관찰 및 EBSD 분석을 어려움 없이 수행할 수 있습니다.
낮은 가속 전압에서 에너지 선택
에너지 필터는 상부 전자 검출기(UED) 바로 아래에 장착되어 에너지 선택이 가능합니다. 낮은 가속 전압에서도 XNUMX차 전자 및 후방 산란 전자를 정확하게 선택할 수 있어 낮은 가속 전압에서 후방 산란 전자 이미지를 사용하여 시편 상단 표면의 조성 관찰이 가능합니다.
Gentle Beam을 사용한 상단 표면 이미징
시편(GB)에 바이어스 전압을 인가함으로써 입사 전자의 속도는 감소하고 방출된 전자의 속도는 증가합니다. 이를 통해 표본 노출 에너지가 낮은 경우에도 신호 대 잡음비가 좋은 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 더 높은 바이어스 전압을 인가할 수 있는 GB 모드를 사용하면 수십 eV의 시료 노출 에너지에서도 고해상도 관찰이 가능합니다.
다중 검출기를 이용한 모든 정보 수집
JSM-7800F는 상부 전자 검출기(UED), 상부 4차 전자 검출기(USD), 후방 산란 전자 검출기(BED) 및 하부 전자 검출기(LED)를 포함한 3가지 유형의 검출기를 통합합니다. UED의 경우 필터 전압에 따라 XNUMX차 전자 및 후방 산란 전자 선량을 변경할 수 있어 전자 에너지를 선택할 수 있습니다. USD는 필터에서 반사되는 저에너지 전자를 감지합니다. BED를 사용하면 낮은 각도의 후방 산란 전자를 감지하여 채널링 콘트라스트를 명확하게 관찰할 수 있습니다. LED는 조명 효과에서 얻은 표면 거칠기 정보를 포함하여 XNUMX차원 모양의 이미지를 획득할 수 있습니다.
적용 사례
낮은 가속 전압에서 관찰
Gentle Beam(GB) 방식으로 시료의 노출에너지 10eV에서 관찰이 가능합니다. 시편 노출 에너지를 80 eV로 설정한 상태에서 원자 XNUMX개 두께의 그래핀 시트 표면을 관찰할 수 있습니다.
시편: 그래핀(시편 노출 에너지: 80eV)
에너지 선택
BE영상(좌)과 SE영상(우)을 UED와 USD로 동시에 취득하여 정확한 영상 해석이 가능합니다. 금 입자와 TiO의 분리2콘트라스트가 주로 지형에 따라 달라지는 SE 이미지에서는 명확하지 않지만 평균 원자 번호가 높아서 금 입자가 더 밝아지는 BE 이미지에서 명확해집니다.
BE 이미지
표본: 금 담지 TiO2 촉매(2kV)
SE 이미지
GBSH를 이용한 관찰
GBSH 방법은 시편에 음의 전압을 인가합니다. 수차가 줄어들면서 고해상도 이미지가 생성됩니다. 메조포러스 실리카의 명확한 관찰이 실현됩니다.
시편: 메조포러스 실리카 (시편 노출 에너지: 1keV)
자성체 관찰
SHL은 표본 주위에 자기장을 형성하지 않습니다. 따라서 자성 물질의 고해상도 관찰과 낮은 시편 노출 에너지에서도 어려움 없이 수행할 수 있습니다.
시편 : 마그네타이트 나노 입자 (시료 노출 에너지 : 1keV)
EBSD는 SHL이 시편에 자기장의 영향을 미치지 않기 때문에 편안하게 수행할 수 있습니다. IPF Map은 고정밀 결정 방향 분석을 생성합니다.
포인트 수: 118585
치수:
X 최대: 80.00미크론, Y 최대: 79.89미크론
단차: 0.25미크론
단계: Nd2Fe14B
EBSD 패턴의 예
ND
TD
RD
제품 사양
| 분해능 | 0.8nm(15kV) 1.2nm(1kV) 3.0nm(15kV, 5nA, WD10mm) |
|---|---|
| 확대 | ×25 ~ ×1,000,000(SEM) |
| 가속 전압 | 0.1kV~30kV |
| 프로브 전류 | 수 pA ~ 200nA |
| 조리개 각도 최적화 렌즈 | 내장 |
| 검출기 | 상부 전자 검출기(UED) 하부 전자 검출기(LED) |
| 에너지 필터 | UED 필터 전압 변경 기능 내장 |
| 젠틀빔 | 내장 |
| 이미지 디스플레이 | 이미지 표시 영역 1,280 x 960 픽셀, 800 x 600 픽셀 |
| 시료교환실 | 스탠다드 시편교환챔버 TYPE2A로 구성되어 있습니다. |
| 표본 단계 | 5축 모터 구동 스테이지 완전한 eucentric goniometer 단계 |
| XY | X:70mm, Y:50mm |
| 기울이다 | -5 ~ +70° |
| 회전 | 360 ° |
| WD | 2mm에 25mm |
| 피난 시스템 | XNUMX개의 SIP, TMP, RP |
| 에코 디자인 | 정상 작동 시: 1.1kVA 슬립 모드 시 : 0.8kVA |
주요 옵션
에너지 분산형 X선 분광기(EDS)
파장 분산 X선 분광기(WDS)
전자 후방 산란 회절(EBSD) 시스템
CLD(음극 발광 검출기)
어플리케이션
애플리케이션 JSM-7800F
ClairScope 및 SpiralTOF를 사용한 박테리아의 신속한 특성화
갤러리 (Gallery)
관련 상품
miXcroscope™ 연결 광학 및 주사 전자 현미경 시스템
이제 광학 현미경과 주사형 전자 현미경 모두에 동일한 시편 홀더를 사용할 수 있습니다. 그 결과 전용 소프트웨어로 스테이지 정보를 관리함으로써 광학현미경으로 관찰한 위치를 기록하고 주사형 전자현미경으로 같은 영역을 더 확대하여 미세한 구조를 더 높은 배율로 관찰할 수 있습니다. 더 높은 해상도. 광학 현미경으로 찾은 관찰 대상은 대상을 다시 찾을 필요 없이 주사형 전자 현미경으로 원활하게 관찰할 수 있습니다. 이제 광학현미경 이미지와 주사형 전자현미경 이미지를 부드럽고 쉽게 비교 검증할 수 있게 되었습니다.
시리얼 블록 페이스 SEM JSM-7200F・7800F / Gatan 3View®2XP
3View®2XP(Gatan Inc.)는 고전류에서 장시간에 걸쳐 미세한 전자 탐침을 생성할 수 있는 Schottky 전계방출형 주사전자현미경에 내장되어 시편의 자동 단면 생성 및 이미지 획득이 가능합니다. 획득한 이미지의 3D 재구성을 통해 미세 구조를 XNUMX차원으로 자세히 분석할 수 있습니다.
