모든 픽셀에서 선량을 제어합니다.
EDM(Electrostatic Dose Modulator)은 전자 장치 및 소프트웨어 제어를 포함하여 사전 샘플 정전기 편향기가 있는 빠른 빔 블랭킹 시스템입니다. EDM은 또한 이미징 조건에 영향을 주지 않고 전자 조명을 감쇠할 수 있으므로 TEM 및 STEM 사용자가 샘플의 선량을 더 잘 제어할 수 있습니다.
선택적 동기화 업그레이드 EDM의 타이밍 및 동기화 기능을 다음 단계로 끌어 올립니다. Synchrony는 STEM 컨트롤러와 협력하여 샘플을 스캔할 때 프로브 빔 위치를 추적할 수 있습니다. EDM의 번개처럼 빠른 정전기 블랭킹은 각 픽셀에서 지정된 시간 동안 빔을 켜거나 빔을 블랭킹하여 선량에서 민감한 영역을 완전히 배제합니다.
특징
동기화 기능
임의의 패턴으로 각 STEM 픽셀에서 프로그래밍 가능한 선량
인접한 픽셀 간의 우수한 선량 대비
모든 형태의 관심 영역에서 선량 제외
용량 패턴 미리보기 및 샘플 구조에 정렬
자동화 친화적인 워크플로
다른 액세서리와 동기화
제품 사양
동기화 기능
| 매개 변수 | 사용 가능한 설정 | 최소. | 맥스. |
|---|---|---|---|
| 픽셀 드웰 시간 | 분해능 10ns | 2μs | 167 MS |
| STEM 분해능 | STEM 컨트롤러로 설정 | 1 X 1 픽셀 | 4,096 X 4,096 픽셀 |
| 그레이 레벨 | 도즈 시간을 10ns로 조정 증분 |
190 (최단 체류 시간) |
4,096 (드웰 시간 > 41μs의 경우) |
| STEM 컨트롤러 | JEOL AIP(기타 STEM 컨트롤러는 문의 [이메일 보호]) | ||
| 제어 인터페이스 | 소프트웨어 GUI, REST 자동화 서버 | ||
샘플 기능에 대한 표적 선량
사용자 친화적인 Synchrony Dose Painter 소프트웨어 각 샘플에 대한 용량 패턴을 사용자 정의할 수 있습니다.
왼쪽 :사용자는 샘플의 미리보기 이미지로 오버레이된 사용자 지정 용량 패턴(녹색)을 그립니다. 동기화는 위의 예와 유사하게 샘플에 용량을 적용하기 위해 이 패턴을 나타냅니다.
오른쪽 :사용자의 Synchrony 선량 패턴이 적용된 STEM 측정. 이미지 제공: The Rosalind Franklin Institute, UK.
적용 모델 :
JEM-2100F(Cs 교정기 없음)
갤러리 (Gallery)
임의 선량 패턴
이 데이터는 EDM Synchrony를 사용하는 Programmable STEM이 달성한 절묘한 제어를 보여줍니다.
(왼쪽) 다양한 고해상도 기능을 갖춘 사용자 정의 테스트 패턴. 각 픽셀의 회색 수준은 노출 시간을 Synchrony에 알려줍니다. 이 테스트 패턴은 JEOL GRAND ARM™2 TEM을 사용하여 Au 나노입자를 스캔하는 동안 사용되어 변조된 명시야 이미지를 생성했습니다(오른쪽).
로고 그래픽, 테스트 패턴 및 변조 이미지의 TEM 사진과 마찬가지로 나노 입자가 명확하게 보입니다.
이미지 제공: The Rosalind Franklin Institute, UK.
