JEM-ARM200F ACCELARM은 원자 분해능 분석 전자현미경으로 STEM Cs 보정기가 표준으로 통합되어 전례 없는 78pm의 STEM-HAADF 분해능을 자랑합니다.
특징
78 pm의 전례 없는 STEM-HAADF 해상도 실현 *1 보장
JEM-ARM200F ACCELARM은 STEM Cs 교정기가 표준으로 통합되고 기계적 및 전기적 안정성이 최대한 향상되어 전례없는 78pm의 STEM-HAADF 해상도를 달성합니다.*1 오후 82시 *2. 그리고 Cs 보정 전자 탐침은 기존 FE TEM보다 한 단계 더 큰 전류 밀도를 획기적으로 증가시켜 원자 수준의 원소 분석이 가능해지고 처리량도 크게 향상되었습니다.
*1 : Cold FEG 사용, *2 : Schottky FEG 사용
STEM-ABF 이미징을 이용한 경원소의 원자 컬럼 위치 직접 관찰
JEM-ARM200F ACCELARM은 STEM-ABF 이미징 모드를 표준으로 제공합니다. 이 기술은 결정질 샘플의 경원소 컬럼 사이트를 시각화합니다. STEM-HAADF 이미지는 HAADF와 BF 검출기 사이의 거리가 최적화되어 있기 때문에 동시에 관찰 가능합니다. 두 개의 이미지로 원자 기둥의 위치를 쉽게 직접 추정할 수 있습니다.
대형 입체각 EDS 검출기를 사용한 원자 분해능 분석
JEOL 고유의 광역(100mm2) 실리콘 드리프트 검출기(SDD)*3 고속 및 고감도 검출을 제공합니다. 이 외에도 수차 보정으로 인해 프로브 형성 시스템의 허용 가능한 큰 구경 크기에 의해 제공되는 작은 프로브 크기의 큰 프로브 전류는 원자 분해능에서 스펙트럼 획득 및 원소 매핑을 가능하게 합니다.
*3 : 옵션
Cold FE gun을 이용한 관찰 및 분석 *4
새로운 진공 시스템을 사용하는 콜드 FE 건은 기존 콜드 FE 건과 달리 플래싱 후 즉시 사용이 가능합니다. 또한 전자 소스는 더 높은 해상도의 이미지를 허용할 만큼 충분히 작습니다. 차가운 FEG의 특징인 좁은 에너지 확산은 높은 에너지 해상도의 EELS 분석을 가능하게 하고 색수차도 감소시킵니다.
*4 : 옵션
TEM Cs 교정기 *5
TEM Cs-corrector를 사용하면 UHR 구성에서 TEM 이미지의 해상도가 110 pm로 향상됩니다.
*5 : 옵션
제품 사양
| 구성*1 | 초고해상도(UHR) | 고해상도(HR) |
|---|---|---|
| [해결] | ||
| 줄기 다크 필드 모드 |
오후 82시(200kV에서, 쇼트키 FEG 사용) 오후 78시(200kV에서, 저온 FEG 사용) |
오후 100시(200kV에서, 쇼트키 FEG 사용) 오후 100시(200kV에서, 저온 FEG 사용) |
| TEM (포인트 해상도) |
오후 190시 (200kV에서) 오후 110시(200kv에서, TEM Cs 교정기 사용) |
오후 230시 (200kV에서) 오후 120시(200kv에서, TEM Cs 교정기 사용) |
| [확대] | ||
| 줄기 | x 200 ~ x 150,000,000 | |
| TEM | x 50 ~ x 2,000,000 | |
| [전자원] | ||
| 이미 터*2 | ZrO/W 쇼트키 W 콜드(옵션) |
ZrO/W 쇼트키 W 콜드(옵션) |
| 가속 전압 | 200~80kV(표준 200kV, 80kV)*3,*4 | |
| [시료 시스템]*5 | ||
| 단계 | Eucentric 사이드 엔트리 고니오미터 스테이지 | |
| 표본 크기 | 3mmø | |
| 최대 경사각*3 | X축: ±25° | X축: ±35° |
| X축: ±25° | X축: ±30° | |
| [수차 보정] | ||
| 프로브 형성 시스템 Cs 교정기 |
기본 내장 | |
| 이미지 형성 시스템 Cs 교정기 |
Optional | |
| [옵션] | ||
| 주요 설치 가능 옵션 | EDS EELS 디지털 CCD 카메라 TEM/STEM 단층 촬영 시스템 바이프리즘 |
|
*1 : JEM-ARM200F를 주문할 때 구성을 선택하십시오.
*2 : JEM-ARM200F를 주문할 때 투광기를 선택하십시오.
*3: 가속관용 단락 스위치 옵션은 80kV 및 100kV에서 사용할 수 있습니다.
*4 : 100kV, 120kV 및 160kV는 Cs 보정기 옵션 조정으로 가능합니다.
*5: 강화 시편 틸팅 홀더(EM-01030RSTH) 또는 시편 틸팅 홀더(EM-31630) 사용.
어플리케이션
애플리케이션 JEM-ARM200F
작은 유기 분자의 구조적 결정을 위한 X선, 전자 및 NMR 결정학
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